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申请/专利权人：上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司

摘要：本发明涉及气体输送技术领域，公开一种供气装置及控制方法。其中供气装置包括控制总路、多条控制支路和总控机械手阀，所述控制总路包括气源和电控制阀组件，所述气源与所述电控制阀组件连接；各所述控制支路均包括依次串联的机械手阀、梭阀和气动控制阀，所述电控制阀组件与各所述控制支路的所述机械手阀相连，所述气源还与各所述控制支路上的所述机械手阀相连；所述总控机械手阀的输入口与所述气源相连，输出口与各所述控制支路上的所述梭阀相连。本发明的供气装置既能够使用电控制阀组件控制气源驱动气动控制阀打开，又能在断电或宕机时，手动开启机械手阀或总控机械手阀，气源通过各控制支路驱动气动控制阀打开，从而实现不间断供气。

主权项：1.一种供气装置，其特征在于，包括：控制总路，所述控制总路包括气源1和电控制阀组件2，所述气源1与所述电控制阀组件2连接；多条控制支路，各所述控制支路均包括依次串联的机械手阀3、梭阀4和气动控制阀5，所述电控制阀组件2与各所述控制支路的所述机械手阀3相连，所述气源1还与各所述控制支路上的所述机械手阀3相连；还包括总控机械手阀6，所述总控机械手阀6的输入口与所述气源1相连，输出口与各所述控制支路上的所述梭阀4相连；所述机械手阀3包括第一输入口31、第二输入口32和第一输出口33，所述第一输入口31与所述气源1连接，所述第二输入口32与所述电控制阀组件2连接，所述第一输出口33与所述梭阀4相连；所述总控机械手阀6包括第三输入口61、第四输入口62和第二输出口63，所述第三输入口61与所述气源1连接，所述第四输入口62连接有消音器64，所述第二输出口63与各所述控制支路上的所述梭阀4相连；所述梭阀4包括第一进口41、第二进口42和出口43，每条所述控制支路上的所述梭阀4的所述第一进口41与该所述控制支路上的所述机械手阀3的所述第一输出口33相接，所述出口43与该所述控制支路上的所述气动控制阀5相连，所述总控机械手阀6的所述第二输出口63与各所述梭阀4的所述第二进口42均相连；所述电控制阀组件2包括控制模块21和电磁阀22，所述电磁阀22与所述控制模块21电连接，所述气源1与所述电磁阀22连接。

全文数据：一种供气装置及控制方法技术领域本发明涉及气体输送技术领域，尤其涉及一种供气装置及控制方法。背景技术目前的气体输送设备在进行供气时，采用的供应方式是气体从钢瓶出来后接入阀盘，阀盘上装气动阀、手阀、减压阀等阀件，其中阀盘采用PLC可编程控制器程序自动控制电磁阀从而驱动气动阀的打开和关闭。由于PLC和电磁阀需要供电才能工作，如出现设备断电或程序宕机，电磁阀无法驱动气动阀打开，将导致气体输送设备停止供气，相应的工厂的生产也将停止，从而产生巨大的经济损失。发明内容基于以上所述，本发明的目的在于提供一种供气装置及控制方法，既能够使用电控制阀组件控制气源驱动气动控制阀打开，又能在出现断电或宕机时，手动开启机械手阀或总控机械手阀，气源通过各控制支路驱动气动控制阀打开，从而实现不间断供气。为达上述目的，本发明采用以下技术方案：一种供气装置，所述供气装置包括控制总路、多条控制支路和总控机械手阀，所述控制总路包括气源和电控制阀组件，所述气源与所述电控制阀组件连接；各所述控制支路均包括依次串联的机械手阀、梭阀和气动控制阀，所述电控制阀组件与各所述控制支路的所述机械手阀相连，所述气源还与各所述控制支路上的所述机械手阀相连；所述总控机械手阀的输入口与所述气源相连，输出口与各所述控制支路上的所述梭阀相连。作为一种优选技术方案，所述机械手阀包括第一输入口、第二输入口和第一输出口，所述第一输入口与所述气源连接，所述第二输入口与所述电控制阀组件连接，所述第一输出口与所述梭阀相连。作为一种优选技术方案，所述总控机械手阀包括第三输入口、第四输入口和第二输出口，所述第三输入口与所述气源连接，所述第四输入口连接有消音器，所述第二输出口与各所述控制支路上的所述梭阀相连。作为一种优选技术方案，所述梭阀包括第一进口、第二进口和出口，每条所述控制支路上的所述梭阀的所述第一进口与该所述控制支路上的所述机械手阀的所述第一输出口相连，所述出口与该所述控制支路上的所述气动控制阀相连，所述总控机械手阀的所述第二输出口与各所述梭阀的所述第二进口均相连。作为一种优选技术方案，每条所述控制支路上的所述机械手阀的所述第一输出口与该所述控制支路上的所述梭阀的所述第一进口之间设置有指示器。作为一种优选技术方案，所述总控机械手阀的所述第二输出口与各所述梭阀的第二进口之间至少设置一个指示器。作为一种优选技术方案，所述电控制阀组件包括控制模块和电磁阀，所述电磁阀与所述控制模块电连接，所述气源与所述电磁阀连接。作为一种优选技术方案，所述电磁阀与各所述机械手阀的所述第二输入口连接。一种供气装置的控制方法，采用上述的供气装置进行控制，所述供气装置正常通电时，所述电控制阀组件控制所述气源中的气体经过各所述控制支路驱动各所述气动控制阀的开启或关闭；所述供气装置断电或宕机时，手动开启所述控制支路上的所述机械手阀，所述气源中的气体经过该所述控制支路单独驱动该控制支路上的所述气动控制阀打开；或手动开启所述总控机械手阀，所述气源中的气体经过各所述控制支路驱动各所述气动控制阀同时打开。作为一种优选技术方案，所述供气装置正常通电且打开所述总控机械手阀时，比较各所述控制支路上的所述梭阀的进口的压力以及所述总控机械手阀与所述梭阀连通的进口的压力，所述气源中的气体由压力高的所述梭阀的进口进入所述梭阀内并驱动所述气动控制阀打开。本发明的有益效果为：本发明的供气装置正常使用时通过电控制阀组件控制气源驱动气动控制阀的打开，完成气体输送，在出现断电或宕机时，手动开启机械手阀或总控机械手阀，气源通过各条控制支路驱动气动控制阀打开，完成气体输送，从而实现不间断供气。本发明的控制方法控制供气装置既能在正常通电时又能在断电或宕机时进行气体输送，实现不间断供气。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。图1是本发明具体实施方式提供的供气装置的结构示意图。图中：1-气源；2-电控制阀组件；21-控制模块；22-电磁阀；3-机械手阀；31-第一输入口；32-第二输入口；33-第一输出口；4-梭阀；41-第一进口；42-第二进口；43-出口；5-气动控制阀；6-总控机械手阀；61-第三输入口；62-第四输入口；63-第二输出口；64-消音器；7-指示器。具体实施方式为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本发明实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。如图1所示，本实施方式提供一种供气装置，该供气装置包括控制总路、多条控制支路和总控机械手阀6，控制总路包括气源1和电控制阀组件2，气源1与电控制阀组件2连接。各控制支路包括依次串联的机械手阀3、梭阀4和气动控制阀5，电控制阀组件2与各控制支路的机械手阀3相连，且气源1还与各控制支路上的机械手阀3相连。总控机械手阀6的输入口与气源1相连，输出口与各控制支路上的梭阀4相连。每条控制支路上的机械手阀3能够单独控制该条控制支路上的气动控制阀5的开启，手动开启总控机械手阀6能够同时开启各条控制支路上的气动控制阀5，操作方便，既能够单独控制又能够同时控制气动控制阀5。本实施方式中的供气装置在正常使用时通过电控制阀组件2控制气源1驱动气动控制阀5打开，完成气体输送，在出现断电或宕机时，手动开启机械手阀3或总控机械手阀6，气源1通过各条控制支路驱动气动控制阀5打开，完成气体输送，从而实现不间断供气。电控制阀组件2包括控制模块21和电磁阀22，电磁阀22与控制模块21电连接，气源1与电磁阀22相接。在通电情况下，控制模块21通过PLC程序控制电磁阀22打开，从而气源1中的气体经过各控制支路驱动气动控制阀5打开，完成气体输送过程。本实施方式中，供气装置包括两条控制支路，控制模块21控制电磁阀22打开，气源1中的气体经过两条控制支路驱动两个气动控制阀5同时打开，从而完成气体输送。其他实施方式中，可以根据气体输送的具体情况设定控制支路的数量。机械手阀3包括第一输入口31、第二输入口32和第一输出口33，第一输入口31与气源1相接，第二输入口32与电磁阀22相接，第一输出口33与梭阀4相接。在通电情况下，机械手阀3关闭，机械手阀3的第二输入口32与第一输出口33连通；在断电或宕机情况下，手动开启机械手阀3，机械手阀3的第一输入口31与第一输出口33连通，从而实现第一输入口31、第二输入口32与第一输出口33之间的切换。进一步地，每条控制支路上的机械手阀3的第一输出口33与该条控制支路上的梭阀4之间设置有指示器7，当手动开启机械手阀3时，指示器7用于检测机械手阀3内是否处于正常工作状态。总控机械手阀6包括第三输入口61、第四输入口62和第二输出口63，第三输入口61与气源1相接，第二输出口63与各条控制支路上的梭阀4相连，当出现断电或宕机情况时，打开总控机械手阀6，总控机械手阀6的第三输入口61与第二输出口63连通，气源1中的气体经过总控机械手阀6进入两条控制支路，之后经过两个梭阀4同时驱动两个气动控制阀5打开，实现气体输送。进一步地，总控机械手阀6的第四输入口62上设置有消音器64，用于消除管路内的噪音。梭阀4包括第一进口41、第二进口42和出口43，每条控制支路上的梭阀4的第一进口41与该条控制支路上的机械手阀3的第一输出口33连接，出口43与该条控制支路上的气动控制阀5相连，总控机械手阀6的第二输出口63与两个梭阀4的第二进口42均相连。当梭阀4的第一进口41和第二进口42均有气源1通过时，梭阀4选择压力高的气源1进行供气，避免第一进口41和第二进口42同时供气时出现卡死或损坏的现象。总控机械手阀6的第二输出口63与两个梭阀4的第二进气口42之间至少设置一个指示器7。本实施方式中，总控机械手阀6的第二输出口63与其中一个梭阀4的第二进气口42之间设置有一个指示器7，当打开总控机械手阀6时，指示器7用于检测总控机械手阀6是否处于正常工作状态。本实施方式还提供一种供气装置的控制方法，采用上述的供气装置进行控制，供气装置正常通电时，电控制阀组件2控制气源1中的气体经过两条控制支路驱动气动控制阀5打开或关闭。具体地，控制模块21控制电磁阀22打开，气源1经过电磁阀22，之后由两个控制支路上的机械手阀3的第二输入口32进入，通过机械手阀3的第一输出口33流出，然后由梭阀4的第一进口41进入，通过梭阀4的出口43到达气动控制阀5，从而驱动气动控制阀5打开，实现气体输送。供气装置断电或宕机时，手动开启控制支路上的机械手阀3，气源1中的气体经过该条控制支路单独驱动该条控制支路上的气动控制阀5打开，或手动开启总控机械手阀6，气源1中的气体经过两条控制支路驱动两个气动控制阀5同时打开。具体地，手动开启其中一条控制支路上的机械手阀3，气源1中的气体经机械手阀3的第一输入口31进入并由第一输出口33流出，之后由该条控制支路上的梭阀4的第一进口41进入，并通过梭阀4的出口43到达气动控制阀5，从而驱动该条控制支路上的气动控制阀5打开，实现气体输送。也可以手动开启两条控制支路上的机械手阀3，控制两条控制支路上的气动控制阀5的开启。手动开启总控机械手阀6，气源1中的气体经总控机械手阀6的第三输入口61进入并由第二输出口63流出，之后同时进入两条控制支路上的梭阀4的第二进口42，并由两个梭阀4的出口43同时到达气动控制阀5，从而驱动两个气动控制阀5同时打开，实现气体输送。当供气装置正常通电时且打开总控机械手阀6时，气源1中的气体经过两条控制支路进入梭阀4，比较两条控制支路上的梭阀4的第一进口41的压力以及总控机械手阀6与梭阀4连通的第二进口42的压力，气源1中的气体由压力高的梭阀4的进口进入梭阀4内并驱动气动控制阀5打开。气源1中的气体经过电磁阀22之后由两个控制支路上的机械手阀3的第二输入口32进入，通过机械手阀3的第一输出口33流出，之后进入梭阀4的第一进口41，同时气源1中的气体经总控机械手阀6的第三输入口61进入并由第二输出口63流出，之后同时进入两条控制支路上的梭阀4的第二进口42，梭阀4选择第一进口41与第二进口42其中一个压力高的气源1中的气体通过出口43到达气动控制阀5，从而驱动两个气动控制阀5同时打开，实现气体输送。本实施方式的供气装置及控制方法，正常通电时，由电控制阀组件2控制气源1驱动气动控制阀5打开，进行气体输送；断电或宕机时，打开机械手阀3或总控机械手阀6进行气体输送，并且可以选择单独打开其中一个气动控制阀5或同时打开两个气动控制阀5，实现了不间断供气，减少了生产损失。注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

权利要求：1.一种供气装置，其特征在于，包括：控制总路，所述控制总路包括气源1和电控制阀组件2，所述气源1与所述电控制阀组件2连接；多条控制支路，各所述控制支路均包括依次串联的机械手阀3、梭阀4和气动控制阀5，所述电控制阀组件2与各所述控制支路的所述机械手阀3相连，所述气源1还与各所述控制支路上的所述机械手阀3相连；还包括总控机械手阀6，所述总控机械手阀6的输入口与所述气源1相连，输出口与各所述控制支路上的所述梭阀4相连。2.根据权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述机械手阀3包括第一输入口31、第二输入口32和第一输出口33，所述第一输入口31与所述气源1连接，所述第二输入口32与所述电控制阀组件2连接，所述第一输出口33与所述梭阀4相连。3.根据权利要求2所述的供气装置，其特征在于，所述总控机械手阀6包括第三输入口61、第四输入口62和第二输出口63，所述第三输入口61与所述气源1连接，所述第四输入口62连接有消音器64，所述第二输出口63与各所述控制支路上的所述梭阀4相连。4.根据权利要求3所述的供气装置，其特征在于，所述梭阀4包括第一进口41、第二进口42和出口43，每条所述控制支路上的所述梭阀4的所述第一进口41与该所述控制支路上的所述机械手阀3的所述第一输出口33相接，所述出口43与该所述控制支路上的所述气动控制阀5相连，所述总控机械手阀6的所述第二输出口63与各所述梭阀4的所述第二进口42均相连。5.根据权利要求4所述的供气装置，其特征在于，每条所述控制支路上的所述机械手阀3的所述第一输出口33与该所述控制支路上的所述梭阀4的所述第一进口41之间设置有指示器7。6.根据权利要求4所述的供气装置，其特征在于，所述总控机械手阀6的所述第二输出口63与各所述梭阀4的第二进口42之间至少设置一个指示器7。7.根据权利要求2所述的供气装置，其特征在于，所述电控制阀组件2包括控制模块21和电磁阀22，所述电磁阀22与所述控制模块21电连接，所述气源1与所述电磁阀22连接。8.根据权利要求7所述的供气装置，其特征在于，所述电磁阀22与各所述机械手阀3的所述第二输入口32连接。9.一种供气装置的控制方法，其特征在于，采用如权利要求1-8任一项所述的供气装置进行控制，所述供气装置正常通电时，所述电控制阀组件2控制所述气源1中的气体经过各所述控制支路驱动各所述气动控制阀5的开启或关闭；所述供气装置断电或宕机时，手动开启所述控制支路上的所述机械手阀3，所述气源1中的气体经过该所述控制支路单独驱动该所述控制支路上的所述气动控制阀5打开；或手动开启所述总控机械手阀6，所述气源1中的气体经过各所述控制支路驱动各所述气动控制阀5同时打开。10.根据权利要求9所述的供气装置的控制方法，其特征在于，所述供气装置正常通电且手动开启所述总控机械手阀6时，比较各所述控制支路上的所述梭阀4的进口的压力以及所述总控机械手阀6与所述梭阀4连通的进口的压力，所述气源1中的气体由压力高的所述梭阀4的进口进入所述梭阀4内并驱动所述气动控制阀5打开。

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