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申请/专利权人：深圳飞骧科技股份有限公司
摘要：本发明适用于半导体工艺技术领域，尤其涉及一种横向激发体声波滤波器的制造方法及射频模组，所述制造方法利用硅基和光敏玻璃各自优异特性，在制造过程中通过对光敏玻璃曝光和退火，获得作为牺牲层的结晶化玻璃，完成图形化转移，这个过程不涉及空腔光刻、刻蚀和镀膜，减少了工艺步骤，能够降低难度和成本，提高滤波器的良率和结构稳定性；同时，结晶化玻璃与未结晶化的光敏玻璃具有高的刻蚀选择比和极低的寄生电阻电容，可简单精确地控制腔体刻蚀，获得理想的空腔结构，并能够降低器件插损，提高滤波器整体性能。
主权项：1.一种横向激发体声波滤波器的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：S1、提供硅基衬底材料和光敏玻璃；S2、通过键合工艺，将所述光敏玻璃的下表面与所述硅基衬底材料的上表面进行键合；S3、对所述光敏玻璃的上表面进行机械减薄并抛光处理；S4、对所述光敏玻璃进行曝光和退火，使所述光敏玻璃的其中一部分结晶化，成为结晶化玻璃；S5、在所述光敏玻璃的上表面制备压电材料；S6、在所述压电材料的上表面完成金属生长、并通过图形化工艺形成叉指换能器；S7、对所述压电材料进行刻蚀，形成贯穿于所述压电材料且使所述结晶化玻璃与外界连通的刻蚀通孔；S8、通过所述刻蚀通孔对所述结晶化玻璃进行牺牲层释放，得到具有腔体的串并联谐振器；S9、将多个所述串并联谐振器按照预设电学规则连接，得到横向激发体声波滤波器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳飞骧科技股份有限公司 横向激发体声波滤波器的制造方法及射频模组
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