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用于瓶胚加热的光斑匀化方法及装置 

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申请/专利权人:武汉华工激光工程有限责任公司;江苏华工激光科技有限公司

摘要:本发明公开一种用于瓶胚加热的光斑匀化方法及装置。光斑匀化方法包括:将准直后的激光束入射到角度微透镜阵列,所述角度微透镜阵列包括至少一个角度匀化镜片,至少一个所述角度匀化镜片的入射面蚀刻有多个均匀排列的角度棱;利用多个所述均匀排列的角度棱对激光束进行折射和聚合,形成匀化光斑。本发明通过角度微透镜阵列进行光斑匀化,利用微透镜阵列中角度匀化镜片上蚀刻的角度棱对激光束进行折射和聚合,形成整形后的匀化光斑,利用该匀化光斑可实现对瓶胚的均匀加热。

主权项:1.用于瓶胚加热的光斑匀化方法,其特征在于,包括:将准直后的激光束入射到角度微透镜阵列,所述角度微透镜阵列包括至少一个角度匀化镜片,至少一个所述角度匀化镜片的入射面蚀刻有多个均匀排列的角度棱;利用多个所述均匀排列的角度棱对激光束进行折射和聚合,形成匀化光斑。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 武汉华工激光工程有限责任公司 江苏华工激光科技有限公司 用于瓶胚加热的光斑匀化方法及装置

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