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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：提供了一种用于溅射沉积的阴极组件110。所述阴极组件包括：第一阴极驱动单元113，经配置为旋转第一可旋转阴极111；第二阴极驱动单元114，邻近第一阴极驱动单元，经配置为旋转第二可旋转阴极112；以及连接元件120，经配置为在阴极组件与第一阴极驱动单元相对的侧面处连接第一可旋转阴极和第二可旋转阴极，并且提供悬臂式阴极组件。连接元件120包括电绝缘体125。
主权项：1.一种用于溅射沉积的阴极组件110，所述阴极组件包含：第一阴极驱动单元113，经配置为旋转第一可旋转阴极111；第二阴极驱动单元114，邻近所述第一阴极驱动单元，经配置为旋转第二可旋转阴极112；以及连接元件120，经配置为在所述阴极组件与所述第一阴极驱动单元相对的侧面处连接所述第一可旋转阴极和所述第二可旋转阴极并且提供悬臂式阴极组件，所述连接元件包含电绝缘体125。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于溅射沉积的阴极组件、沉积设备和方法
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