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申请/专利权人:天津环博科技有限责任公司
摘要:本申请提供一种硅片倾斜理料机构,具有:翻转台,与翻转转轴枢接,其上配设有用于放置硅片的载件,所述载件至少构置有用于规整硅片的顶角;推板,其被配设在翻转后的硅片的对位面;所述翻转台能够在硅片被置于所述载件内时,以与硅片对角线并行的翻转转轴为中心进行翻转,使硅片以所述载件的顶角为基准被倾斜叠置在所述载件内;并控制所述推板抵顶并推压硅片,以使硅片在所述载件内被倾斜规整。本申请一种硅片倾斜理料机构,通过倾斜方式对硅片进行快速理料规整,解决粘片规整问题,同时不仅提高硅片规整效果的一致性,而且还可提高规整效率,使硅片能集中在同一个倾斜空间内进行精准、安全且有效地理料规整。
主权项:1.一种硅片倾斜理料机构,其特征在于,具有:翻转台,与翻转转轴枢接,其上配设有用于放置硅片的载件,所述载件至少构置有用于规整硅片的顶角;推板,其被配设在翻转后的硅片的对位面;所述翻转台能够在硅片被置于所述载件内时,以与硅片对角线并行的翻转转轴为中心进行翻转,使硅片以所述载件的顶角为基准被倾斜叠置在所述载件内;并控制所述推板抵顶并推压硅片,以使硅片在所述载件内被倾斜规整。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 天津环博科技有限责任公司 一种硅片倾斜理料机构
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