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申请/专利权人：西安电子科技大学;西安电子科技大学杭州研究院
摘要：一种基于鳍式场效应晶体管的生物传感器及其制备方法，生物传感器自下而上设置衬底和埋氧层，埋氧层两端有源区和漏区，源区和漏区之间有带凹槽的沟道，沟道靠近漏区一侧有栅极电介质，栅极电介质靠近漏区一侧有侧墙，沟道靠近源区一侧未填充栅极电介质形成生物探测腔，栅极电介质和生物探测腔的四周有金属栅极；制备方法包括：采用硅衬底，依次堆叠二氧化硅埋氧层、锗硅和非晶硅，对非晶硅热退火和固相再结晶形成多晶硅，之后进行P型掺杂，然后制作假栅和侧墙，刻蚀侧墙旁的多晶硅制作N型掺杂的源区和漏区，移除假栅和锗硅，刻蚀多晶硅形成带凹槽的沟道，刻蚀栅极电介质形成生物探测腔；具有高灵敏度、能克服短沟道效应且制备工艺简单的优点。
主权项：1.一种基于鳍式场效应晶体管的生物传感器，包括衬底1，其特征在于，衬底1上表面设置有一层埋氧层2，埋氧层2上表面两端设置有源区3和漏区5，源区3和漏区5之间设置有带凹槽的沟道6，沟道6靠近漏区5一侧的四周设置一层环状的栅极电介质8，栅极电介质8靠近漏区5一侧的四周设置一层环状的侧墙4，沟道6靠近源区3一侧未填充栅极电介质8的四周形成生物探测腔7，生物分子进入生物探测腔7的入口位于源区3一侧，栅极电介质8和生物探测腔7的四周设置有一层环状的金属栅极9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安电子科技大学 西安电子科技大学杭州研究院 一种基于鳍式场效应晶体管的生物传感器及其制备方法
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