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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
摘要：本申请公开了一种晶粒测试方法、装置、设备及存储介质，属于半导体技术领域。本申请通过获取晶圆图像；基于晶粒的形状特征，确定所述晶圆图像中各晶粒的像素中心坐标；基于所述像素中心坐标，确定各所述晶粒在晶圆中的行列值；基于所述行列值以及各所述晶粒对应预设分组，为各所述晶粒赋予探针编号；从而实现基于所述探针编号，按预设分组对各所述晶粒进行探针测试，即，每次测试均可对组内的多个晶粒进行探针测试，无需对晶粒进行一颗一颗地测试，对各所述晶粒分组进行探针测试，能够减少对晶粒较小且大量级的产品的测试时间，提升测试效率。
主权项：1.一种晶粒测试方法，其特征在于，所述晶粒测试方法包括以下步骤：获取晶圆图像；基于晶粒的形状特征，确定所述晶圆图像中各晶粒的像素中心坐标；基于所述像素中心坐标，确定各所述晶粒在晶圆中的行列值；基于所述行列值以及各所述晶粒对应预设分组，为各所述晶粒赋予探针编号；基于所述探针编号，按预设分组对各所述晶粒进行探针测试。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 晶粒测试方法、装置、设备及存储介质
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