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一种小样本芯片外观缺陷检测方法及系统 

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申请/专利权人:河海大学

摘要:本发明公开了一种小样本芯片外观缺陷检测方法及系统,该方法首先建立原始数据集,然后利用WGAN‑GP扩增原始数据集,得到扩增后数据集;建立芯片外观缺陷检测模型,所述芯片外观缺陷检测模型为YOLOv7神经网络模型,其中嵌入了CA注意力机制;利用训练好的芯片外观缺陷检测模型对芯片图片进行检测,输出存在缺陷的图片;根据所述存在缺陷的图片位置,将对应的芯片进行激光标记,得到外观存在缺陷的芯片;本发明能够高效地获得精确的扩增数据集,实现小样本数据增强;建立CA‑YOLOv7神经网络模型并使用弹性网络正则化进行训练,具有检测精度高、训练更高效、推理速度快和目标检测效果好等优势。

主权项:1.一种小样本芯片外观缺陷检测方法,其特征在于,包括如下步骤:获取包含二维阵列排列的芯片的图片,作为原始数据集;利用WGAN-GP扩增原始数据集,得到扩增后数据集,所述扩增后数据集包含原始数据及和扩增数据集;建立芯片外观缺陷检测模型,所述芯片外观缺陷检测模型为YOLOv7神经网络模型,其中嵌入了CA注意力机制;利用训练好的芯片外观缺陷检测模型对芯片图片进行检测,输出存在缺陷的图片;根据所述存在缺陷的图片位置,将对应的芯片进行激光标记,得到外观存在缺陷的芯片。

全文数据:

权利要求:

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