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申请/专利权人：清华大学
摘要：本公开涉及一种柔性集成装置，该装置包括至少一个柔性器件层、至少一个柔性中介层和柔性衬底，各柔性器件层中包括至少一个器件，柔性器件层位于柔性衬底上方，且在柔性器件层为多个的情况下，多个柔性器件层垂直依次堆叠在柔性衬底上；各柔性中介层设置在柔性器件层与柔性衬底之间、或者设置在相邻的两个柔性器件层之间；装置的电气连接和通信通过设置在柔性器件层中多个第一柔性导电结构和柔性中介层中设置的多个第二柔性导电结构实现。所提供的柔性集成装置能够实现器件的柔性集成，使得装置本身就具备需要的柔性，装置的集成度高、尺寸小、工艺简单、制造容易、性能稳定、可靠性好、成本低、应用场景广泛。
主权项：1.一种柔性集成装置，其特征在于，所述装置包括至少一个柔性器件层、至少一个柔性中介层和柔性衬底，各所述柔性器件层中包括至少一个器件，所述柔性器件层位于所述柔性衬底上方，且在所述柔性器件层为多个的情况下，多个柔性器件层垂直依次堆叠在所述柔性衬底上；各所述柔性中介层设置在所述柔性器件层与所述柔性衬底之间、或者设置在相邻的两个柔性器件层之间；所述装置的电气连接和通信通过设置在所述柔性器件层中多个第一柔性导电结构和所述柔性中介层中设置的多个第二柔性导电结构实现。
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