龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：雅马哈发动机株式会社
摘要：本发明按照与晶圆映射对应的基准顺序，执行拍摄生产裸片的拍摄部的移动、生产裸片的识别及基于所述识别的结果的头部对所述合格品裸片的吸附，执行合格品裸片的拾取。在拍摄部按照基准顺序经由镜面裸片的上方移动时，其移动距离有时会超过容许移动量。在此种情况下，拍摄部的移动、生产裸片的识别及吸附中的至少一部分的顺序从基准顺序变更。由此，移动距离始终被抑制在容许移动量以下。其结果，能够防止映射偏差，从包含镜面裸片的晶圆准确地拾取合格品裸片。
主权项：1.一种裸片拾取方法，在具有形成有图案的生产裸片和未形成图案的镜面裸片的晶圆中，参照预先制作的表示各个所述生产裸片是否合格的晶圆映射，针对所述生产裸片中的每个合格品裸片来执行拍摄所述生产裸片的拍摄部的移动、所述生产裸片的识别及基于所述识别的结果由头部对所述合格品裸片的吸附，由此依次拾取所述合格品裸片，所述裸片拾取方法的特征在于，包括如下工序：（a）将按照所述晶圆映射而进行的所述拍摄部的移动、所述生产裸片的识别及所述吸附的顺序作为基准顺序进行存储；（b）在所述拍摄部按照所述基准顺序而进行的移动中、每次所述拍摄部经由所述镜面裸片的上方进行移动时，判定所述拍摄部的移动距离是否超过容许移动量，该容许移动量是为使移动后的映射偏差量处于容许值以下所需的移动量；及（c）当在所述工序（b）中判定为所述移动距离超过所述容许移动量时，从所述基准顺序变更所述拍摄部的移动、所述生产裸片的识别及所述吸附中的至少一部分的顺序，由此将所述移动距离抑制在所述容许移动量以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 雅马哈发动机株式会社 裸片拾取方法及装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号