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一种减少氮气用量的装置 

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申请/专利权人:常熟五临天光电科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种减少氮气用量的装置,包括:底座,其中间位置具有一用于放置晶圆片的晶圆放置区;密封压板,其设置于所述底座的上方并能够上下自由升降,并且在所述密封压板的底面设置有与晶圆片的形状相适配的凹槽,所述密封压板能够盖在底座上,并能够在密封压板底面的凹槽与放置在晶圆放置区内的晶圆片之间形成密闭的氮气空间;其中所述密封压板的中心位置设置有与凹槽连通的氮气入口,所述密封压板的底面设置有至少一个排气槽。该装置只对保护区域充氮,减少氮气用量,氮气用量比起现有设备节省了80%以上,约为2‑3m³H,并且通过减少充氮空间的大小,氮气能均匀的对晶圆起到保护作用。

主权项:1.一种减少氮气用量的装置,其特征在于,包括:底座1,其中间位置具有一用于放置晶圆片6的晶圆放置区;密封压板2,其设置于所述底座1的上方并能够上下自由升降,并且在所述密封压板2的底面设置有与晶圆片6的形状相适配的凹槽202,所述密封压板2能够盖在底座1上,并能够在密封压板2底面的凹槽202与放置在晶圆放置区内的晶圆片6之间形成密闭的氮气空间;其中所述密封压板2的中心位置设置有与凹槽202连通的氮气入口201,所述密封压板2的底面设置有至少一个排气槽203,所述排气槽203的一端自凹槽202的圆周延伸至密封压板2的边沿。

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权利要求:

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