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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种用于制造包括用于存储一个或多个数据值的多个存储器单元的半导体存储器件的方法，该方法包括：在晶片上曝光图案以产生用于半导体存储器件的多个存储器单元的结构，其中该图案是借助于一个或多个带电粒子束来曝光的；在图案的曝光期间改变一个或多个带电粒子束的曝光剂量以在至少一个存储器单元的一个或多个结构中生成一组一个或多个非共同特征，使得至少一个存储器单元的结构不同于半导体存储器件的其他存储器单元的对应结构。
主权项：1.一种用于制造半导体存储器件的方法，所述半导体存储器件包括用于存储一个或多个数据值的多个存储器单元，所述方法包括：在晶片上曝光图案，以产生用于所述半导体存储器件的多个存储器单元的结构，所述结构包括所述多个存储器单元的一个或多个共同特征，其中所述图案是在无掩模图案写入器中借助于多个带电粒子束来曝光的；在所述图案的曝光期间不同地改变所述多个带电粒子束的曝光剂量，以在所述存储器单元中的至少一个存储器单元的一个或多个结构中生成一个或多个非共同特征的集合，使得所述至少一个存储器单元的所述结构不同于所述半导体存储器件的其他存储器单元的对应结构，其中，所述至少一个存储器单元的所述结构与所述其他存储器单元的对应结构之间的差异在设计公差之内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 具有预定启动值的存储器件
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