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申请/专利权人：成都理想境界科技有限公司
摘要：本申请实施例公开了一种光直写系统，采用由光直写扫描单元构成的光直写扫描阵列进行光直写，多个光直写扫描单元协同进行光直写扫描，整体光直写范围大、速度快，能够有效增加单位时间内的曝光面积及曝光效率。
主权项：1.一种光直写系统，其特征在于，包括：光直写扫描阵列、光源模组及控制模组；所述光直写扫描阵列中包括多个阵列排布的光直写扫描单元，每个所述光直写扫描单元的自由端设有用于激发表面等离子激元的微纳结构，且每个所述光直写扫描单元独立进行光直写扫描；所述光源模组包含多个光源模块，每一所述光源模块对应一个所述光直写扫描单元，用于为对应的所述光直写扫描单元提供光直写用光束；所述控制模块用于控制所述光源模组中的各光源模块以及光直写扫描阵列中的各光直写扫描单元。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都理想境界科技有限公司 一种光直写系统
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