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申请/专利权人：盐城厚泽锦业技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种脱胶插片清洗一体机，涉及硅片加工设备的技术领域，包括自左向右依续设置的下料区，清洗区，上料插片区，脱胶区，脱胶区包括多个小车料框位，设于小车料框位一侧的脱胶机构，以及设于脱胶机构一侧的抓取机械臂；上料插片区包括至少三个料框硅片上料通道，设于料框硅片上料通道一侧的输送机构；清洗区包括设于输送机构一侧的清洗烘干机构，设于清洗烘干机构顶部的能量回收机构，以及设于清洗烘干机构一侧的预热机构；下料区包括设于清洗烘干机构一端的降温机构，以及设于降温机构一侧且位于输送机构一侧的搬运机械臂。本实用新型将硅片的各工序作业集成在一体机上，自动化率高，设备故障率极低。
主权项：1.一种脱胶插片清洗一体机，包括自左向右依续设置的下料区10，清洗区20，上料插片区30，脱胶区40，其特征在于，所述脱胶区40包括多个小车料框位41，设于所述小车料框位41一侧的脱胶机构42，以及设于所述脱胶机构42一侧的抓取机械臂43；所述上料插片区30包括至少三个料框硅片上料通道31，设于所述料框硅片上料通道31一侧的输送机构32；所述清洗区20包括设于所述输送机构32一侧的清洗烘干机构21，设于所述清洗烘干机构21顶部的能量回收机构22，以及设于所述清洗烘干机构21一侧的预热机构23；所述下料区10包括设于所述清洗烘干机构21一端的降温机构11，以及设于所述降温机构11一侧且位于所述输送机构32一侧的搬运机械臂12。
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权利要求：
百度查询： 盐城厚泽锦业技术有限公司 一种脱胶插片清洗一体机
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