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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种基板处理装置、基板处理方法以及接合方法，能够恰当地检测附着于吸盘的异物。基板处理装置具有：吸盘，其对基板进行吸附保持；观察部，其对被所述吸盘吸附保持的基板的、与接触所述吸盘的第一面相反一侧的第二面内的多个部位进行观察；以及分析部，其对所述多个部位的观察结果进行分析，其中，在所述第二面存在与相对于所述吸盘的吸附保持所述基板的面的高度有关的奇点的情况下，所述分析部确定该奇点在所述吸盘上的位置。
主权项：1.一种基板处理装置，具有：吸盘，其对基板进行吸附保持；观察部，其对被所述吸盘吸附保持的基板的、与接触所述吸盘的第一面相反一侧的第二面内的多个部位进行观察；以及分析部，其对所述多个部位的观察结果进行分析，其中，在所述第二面存在奇点的情况下，所述分析部确定该奇点的在所述吸盘上的位置，所述奇点是与相对于所述吸盘的吸附保持所述基板的面的高度有关的奇点，所述观察部具有位移计，所述位移计测定从所述观察部到所述第二面的距离，所述分析部基于由所述位移计测定出的距离来判定有无所述奇点，所述基板处理装置还具有对位部，所述对位部使所述位移计在水平方向上移动，在所述对位部扫描所述基板的整个上表面或者扫描所述基板的周缘部的同时，所述分析部记录所述距离，并且基于进行了记录的所述距离来确定所述奇点的在水平方向上的坐标，其中，所述分析部基于所述奇点的在水平方向上的所述坐标来判定是否在连续的两张基板中在相同的测定部位存在奇点，当判定在连续的两张基板中在相同的测定部位存在奇点的情况下停止处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板处理装置、基板处理方法以及接合方法
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