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申请/专利权人：张家港奇点光电科技有限公司

摘要：本发明涉及光源曝光技术领域。本发明的一种光刻机光源头组件，包括曝光器，曝光器包括曝光机壳以及固定安装在曝光机壳内部上方的曝光光源器，曝光机壳的内部还安装有圆锥体，圆锥体的外侧安装有多个检测构件，曝光光源器处于圆锥体的正上方位置，通过曝光光源释放出光源，光源会进入到圆锥体的内顶部，圆锥体的内顶部呈一个收拢的状态，可以对光源进行初步的聚焦，当光源透过凸透镜时，因凸透镜的凸起设置，让透过凸透镜的光源进行聚焦，聚焦后的光源进入到圆锥体的内底部位置，凸透镜下方的圆锥体空间呈圆锥形状，可以让除聚焦光源外的光线在圆锥体的内底部进行聚拢，随后聚拢后的光线以及聚焦的光源一起透过透光孔进行曝光工作。

主权项：1.一种光刻机光源头组件，包括曝光机架（1）和滑动安装在曝光机架（1）上侧的调节组件（5），所述调节组件（5）的一端固定安装有曝光平台（6），所述曝光机架（1）的上侧还固定安装有导轨组件（2），所述导轨组件（2）的一侧活动安装有移动侧板（3），其特征在于：移动侧板（3）的一侧固定安装有曝光器（4）；所述曝光器（4）包括曝光机壳（41）以及固定安装在曝光机壳（41）内部上方的曝光光源器（42），曝光机壳（41）的内部还安装有圆锥体（44），所述圆锥体（44）的外侧安装有多个检测构件（43），所述曝光光源器（42）处于圆锥体（44）的正上方位置，所述曝光机壳（41）的内部固定开设有光源固定槽（411）、圆锥槽（412）以及底固定槽（413），所述曝光光源器（42）固定安装在光源固定槽（411）内部，圆锥体（44）和检测构件（43）固定安装在圆锥槽（412）内部；所述圆锥体（44）的内部上方固定安装有凸透镜（441），所述圆锥体（44）的下端固定安装有透光孔（442），所述透光孔（442）固定安装在底固定槽（413）内部；所述移动侧板（3）下侧壁固定安装有两个调平推杆（31），两个所述的调平推杆（31）下端固定安装有遮光件（33），所述遮光件（33）内侧通槽壁固定安装有掩模板（34）和负性光刻胶（35）以及黏贴固定在遮光件（33）底部的电路图形板（36），所述移动侧板（3）的下侧固定安装有对齐传感器（32）。

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权利要求：

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