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申请/专利权人：惠州学院
摘要：本申请涉及一种机床直线轴的几何误差检测装置及其检测方法，所述检测装置包括：包括：反射镜、干涉镜、干涉镜双向位移平台、激光干涉仪、激光干涉仪双向位移平台、第一光栅尺、第二光栅尺以及计算机；反射镜固定在机床的Z向滑动导轨上，干涉镜设于干涉镜双向位移平台上，第一光栅尺设于干涉镜双向位移平台上，用于检测干涉镜沿X、Y方向运动的位移量；激光干涉仪设于激光干涉仪双向位移平台上，第二光栅尺设于激光干涉仪双向位移平台上，用于检测激光干涉仪沿X、Y方向运动的位移量；计算机用于根据空间位置坐标辨识出机床直线轴的几何误差值。该技术方案，具有更高的测量精度以及更宽的测量带宽，测量时间短，满足快速测量的要求。
主权项：1.一种机床直线轴的几何误差检测装置，其特征在于，包括：反射镜01、干涉镜02、干涉镜双向位移平台03、激光干涉仪05、激光干涉仪双向位移平台06、第一光栅尺07、第二光栅尺08以及计算机09；所述反射镜01固定在机床的Z向滑动导轨04上，并沿机床的Z向滑动导轨04进行运动；所述干涉镜02设于干涉镜双向位移平台03上，所述干涉镜双向位移平台03用于移动干涉镜02；所述第一光栅尺07设于干涉镜双向位移平台03上，用于检测干涉镜02沿X、Y方向运动的位移量；所述激光干涉仪05设于激光干涉仪双向位移平台06上，所述激光干涉仪双向位移平台06用于移动激光干涉仪05；所述第二光栅尺08设于激光干涉仪双向位移平台06上，用于检测激光干涉仪05沿X、Y方向运动的位移量；所述反射镜01依次布置在机床运动平台的测量轨迹上的多个检测位置；所述干涉镜双向位移平台03移动干涉镜02和所述激光干涉仪双向位移平台06移动激光干涉仪05在机床运动平台中的相对位置，使得反射镜01、干涉镜02同在一条测量线上；所述计算机09用于获取反射镜01在各个检测位置处对应的激光干涉仪05所测量的定位数据以及第一光栅尺07和第二光栅尺08所测量的位移量获取所述反射镜01对应的空间位置坐标，并根据所述空间位置坐标辨识出机床直线轴的几何误差值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 惠州学院 机床直线轴的几何误差检测装置及其检测方法
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