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申请/专利权人：上海交通大学
摘要：本发明公开一种基于分段环形纳米线组的入射光三维角度传感器，涉及光角度测量传感技术领域，包括分段环形纳米线组、金属导电电极、基底层、覆盖层，所述分段环形纳米线组设置于所述基底层的上表面，并为所述覆盖层所覆盖，所述金属导电电极于所述基底层内与所述分段环形纳米线组连接。本发明能够实现同时对入射光三维角度的探测与传感，整体在微米尺度，具备超轻薄特性，易于集成，具有较高的探测精度。
主权项：1.一种基于分段环形纳米线组的入射光三维角度传感器，其特征在于，包括分段环形纳米线组、金属导电电极、基底层、覆盖层，所述分段环形纳米线组设置于所述基底层的上表面，并为所述覆盖层所覆盖，所述金属导电电极于所述基底层内与所述分段环形纳米线组连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海交通大学 一种基于分段环形纳米线组的入射光三维角度传感器
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