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申请/专利权人：中山大学
摘要：本申请公开了一种光波导和DFB激光器异质集成的方法及其激光器组件。首先利用化学气相沉积技术依次在硅晶圆的一个表面上沉积二氧化硅层和氮化硅层；利用反应离子刻蚀方法刻蚀硅晶圆的二氧化硅层和氮化硅层，形成用于键合DFB激光器的芯粒的键合区域；利用D2W技术将DFB激光器的芯粒倒装键合到键合区域；利用湿法刻蚀法将DFB激光器的衬底去除，形成光波导和DFB激光器异质集成的组件。可以有效控制和降低多个维度的耦合误差，有效提高异质集成的耦合精度和效率。
主权项：1.一种光波导和DFB激光器异质集成的方法，其特征在于，所述方法包括：步骤1：利用化学气相沉积技术在硅晶圆的一个表面上沉积第一覆盖层，所述第一覆盖层为二氧化硅层，第一覆盖层的厚度h1为10μm～15μm；步骤2：利用化学气相沉积技术在所述第一覆盖层的表面沉积第二覆盖层，所述第二覆盖层为氮化硅层，所述第二覆盖层的厚度h2为50nm～300nm；步骤3：利用反应离子刻蚀方法刻蚀硅晶圆的第一覆盖层和第二覆盖层，形成用于键合DFB激光器的芯粒的键合区域；步骤4：利用D2W技术将DFB激光器的芯粒倒装键合到键合区域；步骤5：利用湿法刻蚀法将DFB激光器的衬底去除，形成光波导和DFB激光器异质集成的组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山大学 一种光波导和DFB激光器异质集成的方法及其激光器组件
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