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申请/专利权人：华中科技大学;武汉华工激光工程有限责任公司
摘要：本申请公开了一种硬脆材料激光处理方法，包括：构建相位全息图；基于相位全息图，利用光刻法，制造相应的衍射光学元件；利用衍射光学元件对经由其的激光进行整形，获取预设形状的整形光束；使用预设形状的整形光束对硬脆材料进行改质，获取呈预设形状的改质区；对改质区进行刻蚀，以实现对硬脆材料的切割。本申请基于相位全息图制造了衍射光学元件，利用该衍射光学元件对激光进行整形处理，形成了把一个光斑分成了若干个光斑在空间呈一定预设形状分布的整形光束，再利用该整形光束对硬脆材料进行加工改质处理，就能够实现切割和倒角的一体成型，相较于传统的机械加工方式来说，工序和成本大大减少，改质效率、良品率与产能显著提高。
主权项：1.一种硬脆材料激光处理方法，其特征在于，包括：S1、构建相位全息图；S2、基于所述相位全息图，利用光刻法，制造相应的衍射光学元件；S3、利用所述衍射光学元件对经由其的激光进行整形，获取预设形状的整形光束；S4、使用所述预设形状的整形光束对所述硬脆材料进行改质，获取呈所述预设形状的改质区；S5、对所述改质区进行刻蚀，以实现对所述硬脆材料的切割。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 武汉华工激光工程有限责任公司 硬脆材料激光处理方法及改质系统
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