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申请/专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
摘要：本申请公开了检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备，涉及精度检测领域，方法包括：选取图像显示区域的一个初始图形；以初始图形的中心位置作为原点，在图像显示区域中沿垂直于光刻机的曝光方向步进，每隔n个选取间距在图像显示区域中取出一个与初始图形相同的图形，直至完成图像显示区域的步进，获得多个重复的图形，并测量每个重复的图形的中心位置的坐标信息，得到由多个图形的坐标信息构成的第一坐标集；在掩膜版的光刻图档查找出与第一坐标集对应的第二坐标集；由第一坐标集减去第二坐标集的坐标信息，获得每隔n个选取间距的图形的偏差值；由偏差值生成数据分布图，依据数据分布图的数据分布状态，确定掩膜版图形位置精度的检测结果。
主权项：1.一种检测掩膜版图形位置精度的方法，其特征在于，方法包括：选取掩膜版的图像显示区域的一个初始图形；以初始图形的中心位置作为原点，在图像显示区域中沿垂直于光刻机的曝光方向步进，每隔n个选取间距在图像显示区域中取出一个与初始图形相同的图形，直至完成图像显示区域的步进，获得多个重复的图形，并测量每个重复的图形的中心位置的坐标信息，得到由多个图形的坐标信息构成的第一坐标集；其中，n为正整数，n的数值是由光刻机的扫描带宽和图像显示区域的尺寸参数确定的；获取掩膜版的光刻图档，在光刻图档查找出与第一坐标集的坐标信息对应的第二坐标集；由第一坐标集的坐标信息减去第二坐标集的坐标信息，获得每隔n个选取间距的图形的偏差值；由偏差值生成数据分布图，依据数据分布图的数据分布状态，确定掩膜版图形位置精度的检测结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市路维光电股份有限公司 检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备
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