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申请/专利权人：江苏集芯先进材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅晶片腐蚀专用提篮装置，所述提篮装置限定出多个放置槽，所述放置槽的上端具有适于取放碳化硅晶片的敞开口，所述放置槽与水平面之间的夹角为α，α满足：10°≤α≤30°；每个所述放置槽的底壁设有至少三个支撑块，所述支撑块被构造成在碳化硅晶片放入所述放置槽内后，碳化硅晶片支撑于所述支撑块且与所述放置槽的底壁间隔开。根据本实用新型的碳化硅晶片腐蚀专用提篮装置，可实现多片腐蚀，有利于提高腐蚀效率，同时可使得碳化硅晶片在提篮装置中的放置可靠，有利于降低碳化硅晶片的跌落风险。
主权项：1.一种碳化硅晶片腐蚀专用提篮装置，其特征在于，所述提篮装置限定出多个放置槽，所述放置槽的上端具有适于取放碳化硅晶片的敞开口，所述放置槽与水平面之间的夹角为α，α满足：10°≤α≤30°；每个所述放置槽的底壁设有至少三个支撑块，所述支撑块被构造成在碳化硅晶片放入所述放置槽内后，碳化硅晶片支撑于所述支撑块且与所述放置槽的底壁间隔开。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏集芯先进材料有限公司 碳化硅晶片腐蚀专用提篮装置
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