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申请/专利权人:朗姆研究公司
摘要:一种用于处理衬底的喷头,该喷头包含背板以及附接至该背板的面板。该面板包含面向该背板的第一表面、与该第一表面相对的第二表面、及在该第一表面与该第二表面之间延伸的多个通孔。该第一表面与该第二表面中的至少一者是至少部分地轮廓化的。
主权项:1.一种用于处理衬底的喷头,所述喷头包含:背板;以及附接至所述背板的面板,其中所述面板包含:面向所述背板的第一表面;与所述第一表面相对的第二表面;以及在所述第一表面与所述第二表面之间延伸的多个通孔,其中所述第一表面与所述第二表面中的至少一者是至少部分地轮廓化的。
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