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申请/专利权人：昂成精密仪器(深圳)有限公司
申请日：2023-11-20
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221282032U
主分类号：H01J37/08
分类号：H01J37/08;H01J37/305
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型涉及离子源技术领域，具体涉及一种射频离子源发生装置及离子束刻蚀设备。该射频离子源发生装置包括壳体，以及设置在壳体内的气体反应模组，气体反应模组上连接有气体扩散组件，以及与气体扩散组件连接的进气组件，进气组件包括连接座、滑动连接在连接座上的第一气管，以及通过气体隔离器与第一气管连接的第二气管，连接座与壳体连接，第一气管上套设有弹性件，且弹性件抵持在气体隔离器和连接座之间，第二气管上设置有密封圈，第二气管与气体扩散组件的扩散器对接时，密封圈与扩散器抵持密封。采用上述方式，能够更好的防止气体泄漏，进而提升离子束流的均匀性，从而保证加工质量的稳定性。
主权项：1.一种射频离子源发生装置，其特征在于，包括：壳体，以及设置在所述壳体内的气体反应模组，所述气体反应模组上连接有气体扩散组件，以及与所述气体扩散组件连接的进气组件，所述进气组件包括连接座、滑动连接在所述连接座上的第一气管，以及通过气体隔离器与所述第一气管连接的第二气管，所述连接座与所述壳体连接，所述第一气管上套设有弹性件，且所述弹性件抵持在所述气体隔离器和所述连接座之间，所述第二气管上设置有密封圈，所述第二气管与所述气体扩散组件的扩散器对接时，所述密封圈与所述扩散器抵持密封。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昂成精密仪器(深圳)有限公司 一种射频离子源发生装置及离子束刻蚀设备
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