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申请/专利权人：无锡光导精密科技有限公司
申请日：2023-11-17
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221269166U
主分类号：B08B7/00
分类号：B08B7/00;H01L31/18
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型涉及一种清边光路装置及清边光路系统，包括：激光发射机构，用于发射第一激光及第二激光；合束机构，激光发射机构发射的第一激光及第二激光均能够射向合束机构；合束机构用于透射第一激光与第二激光中一者，并用于反射第一激光与第二激光中另一者，以使得第一激光及第二激光平行射出；其中，第一激光用于在产品的薄膜层划隔绝线，以将产品的薄膜层划分为清除区域与留存区域，第二激光用于清除清除区域。当第一激光与第二激光合束射向薄膜层时，能够使得第二激光在清掉清除区域时，其划线能够与隔绝线能够部分交叠，以保证将清除区域的薄膜层清除干净，保证清边效果。
主权项：1.一种清边光路装置，其特征在于，包括：激光发射机构10，用于发射第一激光及第二激光；合束机构20，所述激光发射机构10发射的所述第一激光及所述第二激光均能够射向所述合束机构20；所述合束机构20用于透射所述第一激光与所述第二激光中一者，并用于反射所述第一激光与所述第二激光中另一者，以使得所述第一激光及所述第二激光平行射出；其中，所述第一激光用于在产品2000的薄膜层上划隔绝线2001，以将产品2000的薄膜层划分为清除区域2003与留存区域2002，所述第二激光用于清除所述清除区域2003。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡光导精密科技有限公司 清边光路装置及清边光路系统
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