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申请/专利权人：华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)
申请日：2023-11-07
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221275654U
主分类号：C03C15/00
分类号：C03C15/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型属于化学抛光领域，具体是涉及一种适用于半球谐振子批量化学刻蚀工装。包括底板、盖板、提手及固定杆，所述底板开设有贯穿的第一螺纹孔，所述提手的一端与所述第一螺纹孔螺纹连接，另一端安装在所述盖板上，所述底板还开设有底板凹槽，所述底板凹槽与半球谐振子的外支撑杆端面接触，所述盖板上开设有贯穿的第二螺纹孔，所述固定杆与所述第二螺纹孔螺纹连接，以抵触半球谐振子的内支撑杆端面。在批量化学刻蚀谐振子的同时兼容多种尺寸谐振子，有效提高谐振子刻蚀均匀性。该工装结构简单，操作方便，效率高，并且同一种工装可满足多种规格谐振子刻蚀。
主权项：1.一种适用于半球谐振子批量化学刻蚀工装，其特征在于，包括底板、盖板、提手及固定杆，所述底板开设有贯穿的第一螺纹孔，所述提手的一端与所述第一螺纹孔螺纹连接，另一端安装在所述盖板上，所述底板还开设有底板凹槽，所述底板凹槽与半球谐振子的外支撑杆端面接触，所述盖板上开设有贯穿的第二螺纹孔，所述固定杆与所述第二螺纹孔螺纹连接，以抵触半球谐振子的内支撑杆端面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所) 一种适用于半球谐振子批量化学刻蚀工装
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