龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：陕西美兰德新材料股份有限公司;西安美兰德新材料有限责任公司
申请日：2023-10-14
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221275885U
主分类号：C23C16/46
分类号：C23C16/46
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本申请涉及一种沉积炉及沉积炉的发热装置，涉及沉积炉的技术领域，一种沉积炉的发热装置包括侧壁发热杆、底部发热杆及供电组件；侧壁发热杆设有多个，多个侧壁发热杆平行设置，且多个侧壁发热杆沿虚拟圆的周向间隔排布；底部发热杆设有多个，底部发热杆与虚拟圆的径向重合，且多个底部发热杆沿虚拟圆的周向间隔排布；供电组件连接于底部发热杆与侧壁发热杆，以对底部发热杆与侧壁发热杆供电；一种沉积炉包括炉体和发热装置。本申请具有改善炉内中心及靠近侧壁位置温度不均匀的现象的效果。
主权项：1.一种沉积炉的发热装置，其特征在于：包括侧壁发热杆1、底部发热杆2及供电组件3；所述侧壁发热杆1设有多个，多个侧壁发热杆1平行设置，且多个侧壁发热杆1沿虚拟圆的周向间隔排布；所述底部发热杆2设有多个，底部发热杆2与虚拟圆的径向重合，且多个底部发热杆2沿虚拟圆的周向间隔排布；所述供电组件3连接于所述底部发热杆2与所述侧壁发热杆1，以对所述底部发热杆2与所述侧壁发热杆1供电。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 陕西美兰德新材料股份有限公司 西安美兰德新材料有限责任公司 一种沉积炉及沉积炉的发热装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号