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申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司
申请日：2023-12-05
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221278385U
主分类号：F16H37/00
分类号：F16H37/00;F16H57/029;H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本申请涉及一种用于真空腔室的密封传动装置及半导体真空系统，该密封传动装置包括动力单元、密封单元、固定单元及传动单元，动力单元位于真空腔室的外部且输出端设置有能够伸入真空腔室内并可转动的传动轴；密封单元密封套设于传动轴的外部；固定单元与密封单元分别设置于真空腔室的底部或顶部的内、外表面上，固定单元设置有可滑动的安装部；传动单元位于真空腔室的内部，并与传动轴、安装部铰接，以当传动轴转动时驱动安装部在固定单元上平动。该密封传动装置，传动单元可将传动轴的转动转换成安装部的平动，可灵活应用于多个真空腔室组合的场景，增加真空工艺的自动化、集成化的可能性，可使得密封传动装置安装灵活、安装空间占用少。
主权项：1.一种用于真空腔室的密封传动装置，其特征在于，包括：动力单元，所述动力单元位于所述真空腔室的外部，所述动力单元的输出端设置有能够伸入所述真空腔室内并可转动的传动轴；密封单元，所述密封单元密封套设于所述传动轴的外部；固定单元，所述固定单元与所述密封单元分别设置于所述真空腔室的底部或顶部的内、外表面上，所述固定单元设置有可滑动的安装部；以及，传动单元，所述传动单元位于所述真空腔室的内部，并与所述传动轴、所述安装部铰接，以当所述传动轴转动时驱动所述安装部在所述固定单元上平动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈为技术(珠海)有限公司 用于真空腔室的密封传动装置及半导体真空系统
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