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申请/专利权人：深圳金美新材料科技有限公司
申请日：2023-09-28
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221275867U
主分类号：C23C14/35
分类号：C23C14/35;C23C14/56;C23C14/04
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型公开了一种薄膜边缘加热装置及磁控溅射设备，所述薄膜边缘加热装置包括支撑机构及加热机构，加热机构包括支板及加热模块，加热模块包括第一加热件及第二加热件，第一加热件与第二加热件之间具有间隙且所述间隙用于通过膜材边缘留白区域；所述磁控溅射设备包括放卷辊、传送辊、主辊、收卷辊及所述的薄膜边缘加热装置。薄膜边缘加热装置及磁控溅射设备可对膜材边缘留白区域进行加热，减少膜材镀膜区与边缘留白区的温差，避免膜材发生褶皱，提升膜材质量。
主权项：1.薄膜边缘加热装置，其特征在于：包括支撑机构1及设置在支撑机构1上的加热机构2，所述加热机构2安装在所述支撑机构上，加热机构2包括加热模块，所述加热模块包括第一加热件及第二加热件，所述第一加热件与所述第二加热件之间具有间隙且所述间隙用于通过膜材边缘留白区域以对膜材边缘留白区域加热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳金美新材料科技有限公司 薄膜边缘加热装置及磁控溅射设备
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