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申请/专利权人：苏州法特迪科技股份有限公司
申请日：2023-05-06
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN116819274B
主分类号：G01R31/28
分类号：G01R31/28;G01R1/04;G01R1/067;G01R1/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2024.06.14#著录事项变更;2023.10.24#实质审查的生效;2023.09.29#公开
摘要：本发明属于半导体测试技术领域，具体涉及一种转接探针测试方法；该方法首先根据测试周期确定电机转动角速度，然后根据待测芯片与转接探针接触时间确定凸轮圆弧部分所对应的圆心角，再根据待测芯片通电时间确定供电辊的前半部分圆周上的导体所对应的圆心角，再调整凸轮和供电辊，使得凸轮圆弧部分所对圆心角的角分线和供电辊的前半部分圆周上的导体所对圆心角的角分线符合要求，然后将上导电层和后电刷连接可调电流源，调整可调电流源的电流大小，模拟转接探针的工作电流，最后启动电机，实现转接探针打击下的通电测试；本发明能够实现不同测试电流和待测芯片反复打击共同作用下的转接探针使用寿命测试。
主权项：1.一种转接探针测试方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤a、根据测试周期T确定电机（4）转动角速度ω为：ω=2πT；步骤b、根据上导电层（8）与转接探针（9）接触时间t1，确定凸轮（6）圆弧部分所对应的圆心角α1为：α1=2πt1T；步骤c、根据转接探针（9）通电时间t2确定供电辊（3）的前半部分（3-3）圆周上的导体所对应的圆心角α2为：α2=2πt2T；其中，α2α1；步骤d、调整凸轮（6）和供电辊（3），使得凸轮（6）圆弧部分所对圆心角的角分线和供电辊（3）的前半部分（3-3）圆周上的导体所对圆心角的角分线夹角β为：β≤α12-α22；步骤e、将上导电层（8）和后电刷（1-4）连接可调电流源（10）；步骤f、调节可调电流源（10）的电流大小，模拟转接探针（9）的工作电流；步骤g、启动电机（4），实现转接探针（9）打击下的通电测试。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州法特迪科技股份有限公司 一种转接探针测试方法
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