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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日：2022-08-25
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN115513045B
主分类号：H01L21/027
分类号：H01L21/027;H01L31/0224;H01L31/042
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2023.01.10#实质审查的生效;2022.12.23#公开
摘要：本发明提供了一种掩膜制备方法和制备系统，太阳能电池和光伏组件，涉及太阳能电池制备技术领域。掩膜制备方法包括：采用曝光光源照射感光干膜的第一表面，以对感光干膜曝光；第一表面和感光干膜中与第一表面相对的第二表面，对曝光光源的反射率均小于或等于5％；将曝光后的感光干膜压合在电池本体的表面，并对曝光后的感光干膜显影。本发明中，曝光过程没有在太阳能本体上进行，曝光过程不会受到太阳能本体上高反射系数的结构的影响，且第一表面和第二表面对于曝光光线的反射较弱，曝光光线基本不会反射至栅线区域，曝光区域基本仅为曝光光源照射区域，显影后掩膜在栅线区域基本没有残留，易于电镀栅线电极。
主权项：1.一种掩膜制备方法，其特征在于，所述方法包括：采用曝光光源照射感光干膜的第一表面，以对所述感光干膜曝光；所述第一表面和所述感光干膜中与所述第一表面相对的第二表面，对所述曝光光源的反射率均小于或等于5％；将曝光后的所述感光干膜压合在电池本体的表面，并对曝光后的所述感光干膜显影。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 掩膜制备方法和制备系统，太阳能电池和光伏组件
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