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申请/专利权人：三美电机株式会社
申请日：2020-08-03
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN112444338B
主分类号：G01L9/06
分类号：G01L9/06
优先权：["20190905 JP 2019-161644","20190905 JP 2019-161647"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2022.06.24#实质审查的生效;2021.03.05#公开
摘要：本发明提供一种兼顾检测灵敏度和输出的线性度的压力传感器。是使用半导体基板而形成的压力感测元件1，具备框架12、支撑于框架12的膜片11、以及配置于膜片11的压电电阻13，膜片11具备槽部111和多个梁部113，多个梁部113连结膜片11的缘部附近与膜片11中央部附近，并配置成在膜片11的中央部附近相交，梁部113具备：以第一宽度形成的窄幅部1132；以及以比第一宽度更宽的第二宽度形成的宽幅部1131。
主权项：1.一种压力感测元件，是使用半导体基板而形成的压力感测元件，其特征在于，具备框架、支撑于上述框架的膜片以及配置于上述膜片的压电电阻，上述膜片具备槽部和多个梁部，多个上述梁部连结上述膜片的缘部附近与上述膜片的中央部附近，并配置成在上述膜片的中央部附近相交，上述梁部具备：以第一宽度形成的窄幅部；以及以比上述第一宽度更宽的第二宽度形成的宽幅部，上述梁部在其长度方向的两个端部之间的位置处具有上述宽幅部，并且上述梁部的宽度从设置在上述梁部的上述膜片的缘部侧的端部以及在上述梁部的上述膜片的中央部侧的端部的上述窄幅部朝向上述宽幅部逐渐变宽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三美电机株式会社 压力感测元件以及压力传感器
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