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申请/专利权人：胜高股份有限公司
申请日：2020-10-30
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN114846180B
主分类号：C30B29/06
分类号：C30B29/06;C03B20/00;C30B15/10
优先权：["20191223 JP 2019-231815"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2022.08.19#实质审查的生效;2022.08.02#公开
摘要：本发明提供一种能够抑制棕环的剥离而提高单晶硅的成品率的石英玻璃坩埚及其制造方法。本发明的石英玻璃坩埚1的Na、K、Ca的合计浓度在从内表面10i起的深度方向上的分布的峰值存在于比内表面10i更深的位置。
主权项：1.一种石英玻璃坩埚，其特征在于，Na、K、Ca的合计浓度在从内表面起的深度方向上的分布的峰值存在于距所述内表面16μm以上且32μm以下的深度范围内，距所述内表面0μm以上且8μm以下的深度范围内的Li、Al、Na、K、Ca的合计浓度的平均值为3.6×1016原子cc以上且5.5×1017原子cc以下，距所述内表面16μm以上且32μm以下的深度范围内的Na、K、Ca的合计浓度的峰值为距所述内表面0μm以上且8μm以下的深度范围内的Na、K、Ca的合计浓度的平均值的2倍以上且19倍以下，距所述内表面32μm以上且1000μm以下的深度范围内的Na、K、Ca的合计浓度的平均值为距所述内表面0μm以上且8μm以下的深度范围内的Na、K、Ca的合计浓度的平均值的0.6倍以上且1倍以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 胜高股份有限公司 石英玻璃坩埚及其制造方法
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