申请/专利权人：浜松光子学株式会社

申请日：2020-01-17

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN113424028B

主分类号：G01J3/45

分类号：G01J3/45;G02B26/06

优先权：["20190130 JP 2019-014080"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要：光模块的信号处理部具有：电压信号控制部，其控制电压信号，以使具有用于使可动反射镜进行谐振动作的频率的电压信号被施加于反射镜器件；强度获取部，其实施强度获取处理。强度获取处理是如下处理，即：在电压信号中连续的P周期中的多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第一时间间隔，获取M次测定光的干涉光的测定光强度，且获取相互对应的同一次的测定光强度的相加值，并且在该多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第二时间间隔，获取N次激光的干涉光的激光强度，且获取相互对应的同一次的激光强度的相加值。

主权项：1.一种光模块，其包括：反射镜器件，其具有：基座；包含反射镜面的可动反射镜；连接于所述基座和所述可动反射镜之间，且以所述可动反射镜可沿着与所述反射镜面交叉的方向移动的方式支承所述可动反射镜的弹性支承部；设置于所述基座且包含多个第一梳齿的第一梳齿电极；和设置于所述可动反射镜和所述弹性支承部中的至少一者，且包含与所述多个第一梳齿相互交错地配置的多个第二梳齿的第二梳齿电极；至少一个固定反射镜；至少一个分束器，其与所述可动反射镜和所述至少一个固定反射镜一起构成干涉光学系统；第一光检测器，其检测从所述干涉光学系统出射的测定光的干涉光；第二光检测器，其检测从所述干涉光学系统出射的激光的干涉光；和信号处理部，其与所述反射镜器件、所述第一光检测器和所述第二光检测器分别电连接，所述信号处理部具有：电压信号控制部，其控制电压信号，以使具有在所述反射镜器件中用于使所述可动反射镜进行谐振动作的频率的电压信号被施加于所述第一梳齿电极与所述第二梳齿电极之间；和强度获取部，其实施强度获取处理，该强度获取处理中，在所述电压信号中连续的P周期中的多个周期的各个周期内，以基于所述频率的第一时间间隔，获取M次所述测定光的干涉光的测定光强度，且获取相互对应的同一次的所述测定光强度的相加值，并且在所述多个周期的各个周期内，以基于所述频率的第二时间间隔，获取N次所述激光的干涉光的激光强度，且获取相互对应的同一次的所述激光强度的相加值，其中，P为2以上的整数，M为2以上的整数，N为2以上的整数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浜松光子学株式会社 光模块、信号处理系统和信号处理方法

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