龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2020-08-20
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN114401822B
主分类号：B24B37/005
分类号：B24B37/005;B24B37/30;B24B37/32;B24B37/34
优先权：["20190821 US 62/890,024","20191206 US 16/706,489"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2022.05.13#实质审查的生效;2022.04.26#公开
摘要：一种用于化学机械抛光的承载头，包括外壳，所述外壳用于附接至驱动轴；薄膜组件，所述薄膜组件在外壳下方，其中介于外壳及薄膜组件之间的空间界定可加压腔室；以及传感器，所述传感器在外壳中，配置成测量从传感器至薄膜组件的距离。
主权项：1.一种用于化学机械抛光的承载头，包括：外壳，所述外壳用于附接至驱动轴，其中所述外壳包括上部承载主体以及相对于所述上部承载主体能垂直移动的下部承载主体；薄膜组件，所述薄膜组件包括薄膜支撑件和薄膜，所述薄膜具有唇部，所述唇部通过夹具紧固至所述薄膜支撑件，所述薄膜支撑件布置在所述下部承载主体下方，并且其中通过所述下部承载主体与所述薄膜支撑件形成能加压的第一腔室，并且其中所述薄膜界定在所述薄膜支撑件下面的多个能加压的第二腔室，每个能加压的第二腔室通过所述薄膜的襟翼与相邻的能加压的第二腔室隔开，使得所述多个能加压的第二腔室相对于彼此和所述第一腔室是分别能加压的；柔性体，用于将所述下部承载主体连接至所述薄膜组件；以及传感器，所述传感器安装在所述下部承载主体中，所述传感器配置成测量从所述传感器到与所述薄膜相对的所述薄膜支撑件的顶表面的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 具有薄膜位置控制的抛光头
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号