申请/专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司

申请日：2024-03-27

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN117948898B

主分类号：G01B11/02

分类号：G01B11/02;H01L21/66

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本发明提供了一种高精度检测平台。该高精度检测平台包括：基座系统，基座系统包括底座，底座上设置有凹陷；Y向运动系统，滑动地设置在底座上，包括主体部分，主体部分包括沿Y轴方向延伸的第一凹槽部分和沿X轴方向延伸的第二凹槽部分，第一凹槽部分向第二凹槽部分所在侧下凹，第二凹槽部分向第一凹槽部分所在侧下凹，主体部分在第一凹槽部分和第二凹槽部分的交叉区域形成通道，凹陷位于通道运动路径的正下方；X向运动系统，能够滑动地设置在第二凹槽部分内，X向运动系统包括卡盘，卡盘的中部设置有放置槽，通道位于放置槽运动路径的正下方。根据本发明的高精度检测平台，能够大幅度降低检测平台Z向尺寸，结构更加紧凑，检测效率更高。

主权项：1.一种高精度检测平台，其特征在于，包括：基座系统（101），所述基座系统（101）包括底座（1011），所述底座（1011）上设置有凹陷（10111）；Y向运动系统（102），沿Y轴方向能够滑动地设置在所述底座（1011）上，所述Y向运动系统（102）包括主体部分（1021），所述主体部分（1021）包括沿Y轴方向延伸的第一凹槽部分（1029）和沿X轴方向延伸的第二凹槽部分（1022），所述第一凹槽部分（1029）位于所述主体部分（1021）朝向所述底座（1011）的一侧，并与所述基座系统（101）滑动配合，所述第二凹槽部分（1022）位于所述主体部分（1021）背离所述底座（1011）的一侧，所述第一凹槽部分（1029）向所述第二凹槽部分（1022）所在侧下凹，所述第二凹槽部分（1022）向所述第一凹槽部分（1029）所在侧下凹，所述主体部分（1021）在所述第一凹槽部分（1029）和所述第二凹槽部分（1022）的交叉区域形成通道（10211），所述凹陷（10111）位于所述通道（10211）运动路径的正下方；X向运动系统（103），能够滑动地设置在所述第二凹槽部分（1022）内，并由所述第二凹槽部分（1022）形成滑动导向，所述X向运动系统（103）包括卡盘（1031），所述卡盘（1031）的中部设置有放置槽（10311），所述通道（10211）位于所述放置槽（10311）运动路径的正下方；所述Y向运动系统（102）的Z向高度为所述第一凹槽部分（1029）和第二凹槽部分（1022）的Z向深度之和，或者为所述第一凹槽部分（1029）的Z向深度、所述第二凹槽部分（1022）的Z向深度，再加上所述第一凹槽部分（1029）的槽底和所述第二凹槽部分（1022）的槽底之间的Z向间隔之和；所述X向运动系统（103）的顶面高度低于所述Y向运动系统（102）的顶面高度或与所述Y向运动系统（102）的顶面高度齐平。

全文数据：

权利要求：

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