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申请/专利权人：无锡影速半导体科技有限公司

摘要：本发明公开了一种高精度定位上下料系统及高精度定位传输方法，属于机械设备技术领域。所述系统通过传输带方式实现超薄板件和高精密板件在上料输送机构、下料输送机构以及曝光机工作台面之间进行平稳传输，同时在吸附时采用吸附板进行吸附，且吸附板上具有吸附板弹性缓冲结构，可起到缓冲作用，以免板件在吸起和断真空放置过程中造成损伤；进一步的，高密度的输送传输带支撑滚筒支撑输送传输带的板件传输面，以保证支撑输送传输带的板件传输面的平面度，进而实现板件是被平稳、不倾斜、不被划伤的输送。进一步的，其吸附板可根据板材尺寸进行相应的调整，吸附过程更稳定，避免吸附不稳导致板材掉落报废的情况发生。

主权项：1.一种超薄板件和高精密板件的高精度定位上下料系统，其特征在于，包括：系统支撑框架（2）、上料输送机构（21）、下料输送机构（22）和设置于系统支撑框架（2）上的关节机械手（3）；所述关节机械手（3）用于实现板件在上料输送机构（21）、下料输送机构（22）以及曝光机的工作台面（11）之间的传输；所述上料输送机构（21）和下料输送机构（22）均包括输送若干输送传输带支撑滚筒（213）和其上设置的传输带（212），若干输送传输带支撑滚筒（213）设置于支撑框架（211）上同一高度处，并支撑输送传输带（212）以保证板件在传输带（212）上平稳传输；所述系统支撑框架（2）上侧对应于上料输送机构（21）的位置处设置有上料输送入料检测装置（231）、上料输送到位检测装置（232）和板件外侧定位检测装置（233）；所述系统支撑框架（2）上侧对应于下料输送机构（22）的位置处设置有下料输送入料检测装置（241）和下料输送完板检测装置（242）；所述上料输送入料检测装置（231）、上料输送到位检测装置（232）、下料输送入料检测装置（241）、下料输送完板检测装置（242）和板件外侧定位检测装置（233）均由两个或两个以上光电传感器组成，且每个方向上的光电传感器安装在同一直线上；所述光电传感器为激光传感器；所述系统支撑框架（2）上侧对应于上料输送机构（21）的位置处还设置有：板件转正检测相机（234）；所述板件转正检测相机（234）包含CCD传感器以及辅助照明光源；所述传输带（212）采用与PCB板件灰度值差别较大的色彩为传输带颜色。

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