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申请/专利权人：深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
申请日：2024-04-11
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118299297A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/66
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本发明公开了一种晶圆污染物标准片的制备装置及制备方法，涉及标准物质制备技术领域。该制备装置包括液滴沉积系统、液滴观测系统和晶圆位移控制系统；所述的液滴沉积系统包括液滴喷墨头、供液部、喷头控制器；所述的液滴观测系统包括显微镜、LED频闪灯、CCD相机、图像分析装置；所述的晶圆位移控制系统包括位移台、载物台和位移控制器。该制备装置通过液滴喷墨头发生一系列包含单个粒子的单分散液滴，并对其进行分离定位，从而有效避免同一位置沉积复数颗粒，进而有效避免颗粒团聚导致的粒径变化，确保晶圆表面附着颗粒粒径的一致性；通过控制沉积液滴的数量能精准地控制晶圆表面沉积的颗粒数量，还能有效控制颗粒在晶圆表面的沉积位置。
主权项：1.一种晶圆污染物标准片的制备装置，其特征在于，包括液滴沉积系统、液滴观测系统和晶圆位移控制系统；所述的液滴沉积系统包括液滴喷墨头、供液部、喷头控制器；所述的液滴喷墨头用于发生皮升级单分散微小液滴，供液部用于给液滴喷墨头提供试剂，喷头控制器用于控制供液部的试剂导入液滴喷墨头以及输入信号控制液滴喷墨头生成液滴；所述的液滴观测系统包括显微镜、LED频闪灯、CCD相机、图像分析装置；所述的显微镜用于观察液滴；所述的LED频闪灯用于提供光源；所述的CCD相机与显微镜连接，用于拍摄液滴图像；所述的图像分析装置连接CCD相机，用于分析拍摄的液滴图像；所述的晶圆位移控制系统包括位移台、载物台和位移控制器；所述的载物台设置在位移台上，且位于液滴喷墨头的下方，用于放置与固定晶圆；所述的位移控制器用于控制位移台运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院 一种晶圆污染物标准片的制备装置及制备方法
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