申请/专利权人：合肥真萍电子科技有限公司

申请日：2024-06-05

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN118299306A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;F25D17/06;F25B21/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要：本发明提供了一种真空烤箱用风冷结构，属于晶圆加工技术领域，它解决了现有技术中真空烤箱在烘烤完成后不能很好地对晶圆底部进行降温的问题。本真空烤箱用风冷结构，包括壳体，壳体的内部开设有操作室，操作室的内部固定安装有两个导热板，两个导热板之间通过多个导热柱固定连接，壳体的中部开设有冷却腔，冷却腔的内部装有冷却液，冷却腔的内底部还固定安装有半导体制冷器，壳体的底部开设有风道，壳体的左右两侧与风道之间设置有风冷机构，冷却腔的内部固定安装有两个导热管，导热管的内部开设有第二滑腔，第二滑腔的内部滑动安装有铜柱，铜柱的下方设置有顶升机构。本发明具有能够对晶圆进行快速散热降温的优点。

主权项：1.一种真空烤箱用风冷结构，包括壳体（1），其特征在于，所述壳体（1）的内部开设有操作室（2），所述操作室（2）的内部固定安装有两个导热板（3），两个所述导热板（3）之间通过多个导热柱（4）固定连接，所述壳体（1）的中部开设有冷却腔（6），所述冷却腔（6）的内部装有冷却液，所述冷却腔（6）的内底部还固定安装有半导体制冷器，所述壳体（1）的底部开设有风道（16），所述壳体（1）的左右两侧与风道（16）之间设置有风冷机构，所述壳体（1）的两侧均安装有电机，两个所述电机的输出端均固定安装有第一转轴（9），所述第一转轴（9）的外部还固定安装有转盘（21），所述转盘（21）的内部轴向等间距开设有多个第一滑腔（22），每个所述第一滑腔（22）的内部均滑动安装有第三滑块（23），所述第三滑块（23）与第一滑腔（22）靠近第一转轴（9）的内壁之间安装有螺旋形的记忆金属丝（24），所述第一滑腔（22）的另一侧内壁通过导孔（25）与转盘（21）的外部相连通，所述冷却腔（6）的左右两侧壁均固定安装有与转盘（21）贴合的弧形板（8），所述壳体（1）的两侧均设置有第一导气管（18），两个所述第一导气管（18）靠近壳体（1）的管壁均开设有弧形口，两个所述转盘（21）分别贯穿两个弧形口并延伸至第一导气管（18）的内部，所述弧形口开口处与转盘（21）的外壁相抵触，所述冷却腔（6）的内部固定安装有两个导热管（7），所述导热管（7）的内部开设有第二滑腔（30），所述第二滑腔（30）的内部滑动安装有铜柱（32），所述铜柱（32）的下方设置有顶升机构，所述壳体（1）的内部还开设有两个与铜柱（32）配合的插口（49），所述壳体（1）的内部还对称开设有两个横腔（46），两个所述横腔（46）的内部设置有封闭机构；所述风冷机构包括固定安装在操作室（2）左右两侧的多个连接管（51），两个所述第一导气管（18）的下端分别与风道（16）的两端相连通，两个所述第一导气管（18）的上端分别与两侧的连接管（51）相连通，所述风道（16）的内部固定安装有分隔板（19），所述分隔板（19）的两侧均转动安装有第三转轴（15），两个所述第三转轴（15）的外壁均固定安装有风扇（17），所述壳体（1）的两侧还设置有驱动机构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥真萍电子科技有限公司 一种真空烤箱用风冷结构

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