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一种防止芯片静电吸附在Tray盘盖板的吹气装置 

申请/专利权人:沛顿科技(深圳)有限公司

申请日:2024-05-15

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN118301833A

主分类号:H05F3/04

分类号:H05F3/04

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要:本发明公开了一种防止芯片静电吸附在Tray盘盖板的吹气装置,属于吹气结构设计领域,本发明包含吹气管道、出风管道、出风孔、导流板,其中吹气管道上端会输入大量的防静电离子风,离子风进入到出风管道中,随着导流板的导流作用下,离子风从出风管道内的多个出风孔排出,从出风孔出来的离子风吹到芯片的上表面,防止芯片因为静电吸附作用吸附在Tray盘盖板上,避免Tray盘盖板在后续的移动过程中发生芯片掉落损坏的问题。该种装置可以有效的防止芯片因为静电吸附作用而受到损坏,提高了产品的良率,减少了因为芯片损坏而带来的品质异常人力处理成本。

主权项:1.一种防止芯片静电吸附在Tray盘盖板的吹气装置,包括导流板3,其特征在于:所述导流板3的一端的中间处安装有吹气管道1,所述导流板3的另一端安装有多个出风管道2,多个所述出风管道2上均开设有多个出风孔4;吹气管道1上端输入高流速的防静电离子风,离子风从吹气管道1下端排出从而进入至出风管道2中,出风管道2由出风孔4和导流板3组成,离子风从吹气管道1上端输入,从多个出风孔4排出,随即大量的离子风吹至芯片上表面,从而防止芯片由于静电吸附作用而吸附在Tray盘盖板上,避免芯片受到损坏。

全文数据:

权利要求:

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