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一种蚀刻托盘集中清洗夹具 

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申请/专利权人:徐州美兴光电科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种蚀刻托盘集中清洗夹具,包括底座,底座上安装有基板,且基板由驱动电机驱动在底座上转动,基板由多个拼接板组成,相邻的两个拼接板相互靠近的一侧面上开设有弧形槽,相邻的弧形槽能够组合成圆槽,圆槽的槽壁上安装有用于夹持蚀刻托盘的夹持轮组,且夹持轮组在夹持时能够改变蚀刻托盘与夹持轮组接触的位置,本实用新型在对托盘的清洗过程中可以调节夹持的位置,从而可以保证对托盘整体都能进行清洗,提高了托盘的清洗效果。

主权项:1.一种蚀刻托盘集中清洗夹具,其特征在于,包括底座1,所述底座1上安装有基板2,且基板2由驱动电机3驱动在底座1上转动,所述基板2由多个拼接板201组成,相邻的两个拼接板201相互靠近的一侧面上开设有弧形槽,相邻的弧形槽能够组合成圆槽202,圆槽202的槽壁上安装有用于夹持蚀刻托盘的夹持轮组4,且夹持轮组4在夹持时能够改变蚀刻托盘与夹持轮组4接触的位置。

全文数据:

权利要求:

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