申请/专利权人:东京溶接有限公司
申请日:2019-09-18
公开(公告)日:2024-06-28
公开(公告)号:CN112889119B
主分类号:G21K5/00
分类号:G21K5/00;G01N23/04;G21K5/02;G21K5/04;G21K5/10
优先权:["20181015 JP 2018-194071","20181015 JP 2018-194070","20181015 JP 2018-194069","20181015 JP 2018-194068","20181015 JP 2018-194067"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.28#授权;2021.06.18#实质审查的生效;2021.06.01#公开
摘要:提供一种小型化的无损自动检查系统,能够高效且准确地以无损方式检查主表面的面积大的被检查物的微细缺陷或不合格。具备检查单元,所述检查单元具有:检查线产生部12,从点光源对被检查物射出检查线;检查工作台15,为了定义被检查物的期望检查点处的检查线倾斜入射的检查角度,所述检查工作台15能够搭载被检查物沿着三维正交坐标系平移移动;以及图像传感器13,为了拍摄基于以检查角度入射到被检查物并透射过被检查物的检查线而形成的被检查物的图像,而以点光源的位置为极坐标的中心并在该极坐标的中心所定义的球面内,维持拍摄面的法线方向始终朝向点光源的这种取向而移动。
主权项:1.一种无损自动检查系统,其特征在于,具备检查单元,所述检查单元具有:检查线产生部,从点光源对平板状的被检查物射出检查线;检查工作台,为了定义所述被检查物的期望检查点处的所述检查线倾斜入射的检查角度,所述检查工作台能够搭载所述被检查物并沿着三维正交坐标系平移移动;以及图像传感器,为了拍摄基于以所述检查角度入射到所述被检查物并透射过所述被检查物的所述检查线而形成的所述被检查物的图像,而以所述点光源的位置为极坐标的中心并在该极坐标的中心所定义的球面内,维持拍摄面的法线方向始终朝向所述点光源的这种取向而移动,所述检查单元还具备:拍摄工作台,供所述图像传感器搭载;以及五轴移动机构,使该拍摄工作台关于五轴进行移动,所述五轴为坐标原点与所述三维正交坐标系不同的正交的三轴加上两个仰角旋转轴而得到的五轴,所述五轴移动机构一边维持所述图像传感器的拍摄面始终朝向所述点光源的这种取向,一边使所述拍摄工作台移动。
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