申请/专利权人：福建福碳新材料科技有限公司

申请日：2024-04-26

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN118111237B

主分类号：F27B17/00

分类号：F27B17/00;C01B32/205;F27D13/00;F27D15/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2024.06.18#实质审查的生效;2024.05.31#公开

摘要：本发明涉及石墨化设备技术领域，具体是涉及一种半导体大硅片制造用等静压石墨连续高温石墨化设备，包括釜体，釜体内沿竖直方向从上至下依次设有预热区、高温区和冷却区，预热区内设有预热罐，高温区内设有高温罐，冷却区内设有冷却管，预热罐和高温罐内均同轴设有锥形搅拌体，每个锥形搅拌体上均同轴设有一号转轴，冷却管内设有螺旋送料轴，冷却管的上端设有二号旋转连接件，每个锥形搅拌体的上方均设有升降机构，锥形搅拌体会在旋转的过程中通过升降机构自动下降，以此对应罐体内的粉料会自动下落至下一罐体内，锥形搅拌体采用耐高温的材质，且结构简单，其下降通过机械式的方式实现，不会出现因高温而导致电线发生短路。

主权项：1.一种半导体大硅片制造用等静压石墨连续高温石墨化设备，其特征在于，包括呈竖直的釜体（1），釜体（1）内沿竖直方向从上至下依次设有预热区、高温区和冷却区，预热区内设有预热罐（2），高温区内设有高温罐（3），冷却区内设有冷却管（4），预热罐（2）、高温罐（3）和冷却管（4）沿竖直方向共轴线且首尾相连，预热罐（2）和高温罐（3）内均同轴设有锥形搅拌体，每个锥形搅拌体的大口径端均朝下，每个锥形搅拌体上均同轴设有一号转轴（5），两个锥形搅拌体之间设有用于将两个一号转轴（5）同轴相连的一号旋转连接件，冷却管（4）内设有呈竖直的螺旋送料轴（6），冷却管（4）的上端设有用于将螺旋送料轴（6）和位于高温罐（3）内的一号转轴（5）同轴相连的二号旋转连接件，一号旋转连接件和二号旋转连接件的结构相同，二者的上端均为弹性结构且分别用于将两个一号转轴（5）向上顶，以此使得两个锥形搅拌体的大口径端向上分别将预热罐（2）和高温罐（3）的下端封堵，预热罐（2）的顶部同轴固连有大口径端朝上的一号锥形管（9），冷却管（4）的顶部同轴固连有用于将从高温罐（3）落下的粉料进入冷却管（4）内的二号锥形管（13），一号旋转连接件和二号旋转连接件均包括柱状转体（19）、转套（20）和端轴（21），转套（20）同轴成型于柱状转体（19）的顶部，端轴（21）同轴成型于柱状转体（19）的底部，两个柱状转体（19）分别同轴转动设于高温罐（3）和二号锥形管（13）内，高温罐（3）和二号锥形管（13）内分别同轴设有一号圆盘（28）和二号圆盘（29），一号圆盘（28）通过若干个沿一号圆盘（28）的圆周方向均匀分布的一号连杆（30）与高温罐（3）的内壁相连，二号圆盘（29）通过若干个沿二号圆盘（29）的圆周方向均匀分布的二号连杆（31）与二号锥形管（13）的内壁相连，一号圆盘（28）和二号圆盘（29）的中心处均同轴嵌设有一号轴承（32），两个柱状转体（19）分别与两个一号轴承（32）的内圈同轴固连，一号锥形管（9）内同轴设有中心管（33），中心管（33）通过若干个沿中心管（33）的圆周方向均匀分布的三号连杆（34）与一号锥形管（9）的内壁相连，中心管（33）内同轴固定设有三号圆盘（35），三号圆盘（35）的中心处均同轴嵌设有二号轴承（52），二号轴承（52）的内圈上同轴固连有竖直穿过三号圆盘（35）的二号转轴（36），位于预热罐（2）内的一号转轴（5）的上端内开设有二号竖槽（37），二号转轴（36）的下端向下插入二号竖槽（37）内，二号转轴（36）下端的外壁上成型有若干个呈竖直的三号限位条（38），二号竖槽（37）的内壁上开设有若干个与三号限位条（38）相配合的三号限位槽（39），密封盖板（11）的顶部固定设有呈竖直的减速电机（40），减速电机（40）的输出端向下与二号转轴（36）的上端同轴固连，每个锥形搅拌体的上方均设有升降机构，两个升降机构用于分别带动两个一号转轴（5）依次升降，并以此实现高温罐（3）下端的先开闭以及预热罐（2）下端的后开闭，每个升降机构均包括转盘（41）和两个沿转盘（41）的圆周方向均匀分布的滚动件，两个转盘（41）分别与两个一号转轴（5）的上端同轴固连，每个滚动件均包括连接柱（42）和滚珠（43），连接柱（42）呈竖直固定设于对应转盘（41）的顶部，滚珠（43）嵌设于对应连接柱（42）的上端内，位于上方的升降机构中的滚珠（43）与三号圆盘（35）的底部相抵触，位于下方的升降机构中的滚珠（43）与一号圆盘（28）的底部相抵触，三号圆盘（35）的底部成型有两个沿三号圆盘（35）的圆周方向均匀分布的一号波峰（44），一号圆盘（28）的底部成型有两个沿一号圆盘（28）的圆周方向均匀分布的二号波峰（45），且两个一号波峰（44）和两个二号波峰（45）交错分布。

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