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申请/专利权人：TOTO株式会社
摘要：本发明的静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、第2主面；基座板，具有气体导入路；第1多孔质部，与所述气体导入路相对；及第2多孔质部，所述陶瓷电介体基板具有所述第1主面及第1孔部，所述第1多孔质部具有：第1多孔区域；及第1致密区域，所述第1多孔区域还具有第1致密部，所述第2多孔质部具有：第2多孔区域；及第2致密区域，所述第2多孔区域还具有第2致密部，当向垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向的平面进行投影时，构成为所述第1致密部与所述第1孔部发生重叠，所述第2致密部的一部分与所述第1致密部的一部分发生重叠，或者所述第2致密部的一部分与所述第1致密部的一部分接触。
主权项：1.一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路；第1多孔质部，设置于所述陶瓷电介体基板且与所述气体导入路相对；及第2多孔质部，设置于所述基座板且与所述气体导入路相对，其特征为，所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1主面与所述第1多孔质部之间的第1孔部，所述第1多孔质部具有：第1多孔区域，具有多个孔；及第1致密区域，比所述第1多孔区域更致密，所述第1多孔区域还具有至少1个第1致密部，所述第2多孔质部具有：第2多孔区域，具有多个孔；及第2致密区域，比所述第2多孔区域更致密，所述第2多孔区域还具有至少1个第2致密部，将从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的方向作为第1方向，将与所述第1方向正交的方向作为第2方向时，当向垂直于所述第1方向的平面进行投影时，构成为所述第1致密部与所述第1孔部发生重叠，所述第2致密部的至少一部分与所述第1致密部的至少一部分发生重叠，或者所述第2致密部的至少一部分与所述第1致密部的至少一部分接触。
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