申请/专利权人：四川图林科技有限责任公司

申请日：2023-10-31

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN117403190B

主分类号：C23C14/30

分类号：C23C14/30;C23C14/50;C23C14/04;C23C14/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2024.02.02#实质审查的生效;2024.01.16#公开

摘要：本发明涉及半球谐振陀螺仪技术领域，具体是指一种半球谐振陀螺的谐振子表面金属化镀膜方法，包括以下步骤：步骤1，对谐振子的待镀膜表面进行预处理，并将预处理后谐振子通过偏转模块安装在公自转模块上；步骤2，将谐振子的待镀膜表面加热升温至设定温度；步骤3，打开坩埚挡板，调节束流旋钮至坩埚内观察到光斑，并调节光斑至坩埚中央，待束流速度达到预定速率后进行预溅，再待预溅速度稳定后打开衬底挡板进行生长镀膜；本发明增加了谐振子在蒸发腔室内的自由度，改变了谐振子表面各点与蒸发源之间的夹角，使得谐振子的转轴多向化，进而使得球顶正对蒸发源的时间相应减小，谐振子唇缘与蒸发源流束的夹角增大，提高了球面金属化薄膜的均匀性。

主权项：1.一种半球谐振陀螺的谐振子表面金属化镀膜方法，包括通过公自转模块（2）来调整谐振子（4）角度，镀膜时，启动公自转模块（2），使谐振子（4）围绕公转轴线公转的同时围绕自身的自转轴线进行自转，其特征在于：还包括以下步骤：步骤1，预处理，对谐振子（4）的待镀膜表面进行预处理，并将预处理后谐振子（4）通过偏转模块（3）安装在公自转模块（2）上；步骤2，预加热，步骤1完成后，将谐振子（4）的待镀膜表面加热升温至设定温度；步骤3，步骤2完成后，打开坩埚挡板，调节束流旋钮至坩埚内观察到光斑，并调节光斑至坩埚中央，待束流速度达到预定速率后进行预溅，再待预溅速度稳定后打开衬底挡板进行生长镀膜；其中，偏转模块（3）的偏转过程包括第一偏转模式与第二偏转模式，第一偏转模式中，偏转模块（3）保持固定，公自转模块（2）保持转动，坩埚通过转动模块绕其轴线进行转动，在第一偏转模式进行过渡层蒸镀；第二偏转模式中，谐振子（4）通过偏转模块（3）进行角度调节，公自转模块（2）保持转动，坩埚通过转动模块绕其轴线进行转动并同步进行角度调节，在第二偏转模式中进行靶料层蒸镀；偏转模块（3）包括设置在公自转模块（2）上的偏转臂与设置在偏转臂端部的掩膜模块，在步骤3中，掩膜模块的工作过程包括闭合模式与开放模式，闭合模式中，掩膜模块的开口与谐振子（4）的内表面贴合，谐振子（4）进行外表面蒸镀；开放模式中，掩膜模块的开口与谐振子（4）的外表面贴合，谐振子（4）进行内表面蒸镀；掩膜模块包括多个弧形板（32），多个弧形板（32）能够通过一个基座（38）拼接成球缺部（31），该球缺部（31）大于半球，基座（38）与偏转臂连接，每个弧形板（32）内壁上设置有用于弧形板（32）开合的传动件（33），弧形板（32）与基座（38）的拼接形式为铰接；当弧形板（32）在传动件（33）的作用下进行开合时，弧形板（32）的末端能够开放或闭合，基座（38）的内部中空，上端面连接有支撑板（34），支撑板（34）与基座（38）的上端面通过多个传动杆（331）连接，支撑板（34）的中部开设有与谐振子（4）支撑杆匹配的支撑孔（35）；基座（38）的内部设置有伺服电机与传动板（36），传动板（36）转动设置在基座（38）内部并通过伺服电机控制转动，传动板（36）上设置有与传动件（33）数量对应的弧形孔（37），基座（38）的上端面开设有与传动件（33）数量对应的固定孔（335），传动件（33）包括传动杆（331），传动杆（331）上开设有传动孔（332），传动件（33）还包括两平行设置的剪刀架（333），剪刀架（333）的一端与弧形板（32）的内壁铰接，另一端包括两端点，一端点与传动杆（331）铰接，另一端点与传动孔（332）滑动设置，且另一端点还铰接有移动杆（334），移动杆（334）的自由端贯穿固定孔（335）后与弧形孔（37）配合，当传动板（36）进行转动时，在弧形孔（37）的作用下使得移动杆（334）的端部在固定孔（335）往复运动，并最终实现弧形板（32）的开放与闭合。

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