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申请/专利权人：四方光电股份有限公司
申请日：2021-12-08
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN114384124B
主分类号：G01N27/12
分类号：G01N27/12
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2022.05.10#实质审查的生效;2022.04.22#公开
摘要：本发明提供了一种抗漂移的双气敏膜气体传感器，属于气敏传感器技术领域，包括基底、加热电极及多个气敏单元，所述加热电极及多个所述气敏单元间隔设置在所述基底上，所述气敏单元包括构成至少两个插齿电极的至少三个测量电极和至少两个气敏膜，所述至少三个测量电极间隔设置在所述基底上，至少两个所述气敏膜分别由纯金属氧化物和与改性材料制作而成，至少两个所述气敏膜分别覆盖在所述至少两个插齿电极上。与现有技术相比，本发明提供的抗漂移的双气敏膜气体传感器，结构简单，适用性较好，提高了气体传感器的敏感性和稳定性。
主权项：1.一种抗漂移的双气敏膜气体传感器，包括基底、加热电极及多个气敏单元，所述加热电极及多个所述气敏单元间隔设置在所述基底上，其特征在于，所述气敏单元包括构成两个插齿电极的三个测量电极和两个气敏膜，所述三个测量电极间隔设置在所述基底上，所述两个气敏膜分别由纯金属氧化物和改性材料制作而成，所述改性材料的基体材料为所述纯金属氧化物；所述改性材料为使用Pt、Au、Ag、Ga、Ir、Pd中的一种或多种组合对所述纯金属氧化物进行掺杂、修饰后得到的一种组合物；由纯金属氧化物材料制作而成的气敏膜覆盖在两个插齿电极中的任意一个上，由改性材料制作而成的气敏膜则对应覆盖在所述两个插齿电极的另一个上；所述测量电极的数量为三个，三个所述测量电极分别为第一测量电极、第二测量电极及第三测量电极，通过测量所述第一测量电极与所述第二测量电极之间的电阻R1与所述第二测量电极与所述第三测量电极之间的电阻R2来获取对气体的响应信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四方光电股份有限公司 一种抗漂移的双气敏膜气体传感器
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