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真空泵及控制装置 

申请/专利权人:埃地沃兹日本有限公司

申请日:2022-12-15

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118265850A

主分类号:F04D19/04

分类号:F04D19/04;F04B37/16

优先权:["20211216 JP 2021-204373"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:本发明的目的在于提供具有能够在不计量旋转翼的温度的情况下防止加热导致的转子破坏的保护功能的真空泵及控制装置。真空泵具备旋转翼、马达、旋转速度计量机构、电流计量机构,前述旋转翼将从气体送向排气口,前述马达将旋转翼旋转驱动,前述旋转速度计量机构计量旋转翼的旋转速度,前述电流计量机构计量流至马达的电流,前述真空泵具备第一区域、第二区域、区域判断机构、运算机构,前述第一区域定义为,流至马达的电流计量值为电流规定值以上,且旋转翼的旋转速度计量值为旋转速度规定值以上,前述第二区域定义为,流至马达的电流计量值不足电流规定值,或者旋转翼的旋转速度计量值不足旋转速度规定值,前述区域判断机构判断由旋转速度计量机构计量的旋转速度计量值和由电流计量机构计量的电流计量值属于第一区域和第二区域的哪个区域,前述运算机构基于区域判断机构的判断的结果随着时间的经过对真空泵的故障的危险度进行运算。

主权项:1.一种真空泵,具备旋转翼、马达、旋转速度计量机构、电流计量机构,前述旋转翼将从吸气口抽吸的气体送向排气口,前述马达将该旋转翼旋转驱动,前述旋转速度计量机构计量前述旋转翼的旋转速度,前述电流计量机构计量流至前述马达的电流,前述真空泵的特征在于,具备第一区域、第二区域、区域判断机构、运算机构,前述第一区域定义为,由前述电流计量机构计量的电流计量值为电流规定值以上,且由前述旋转速度计量机构计量的旋转速度计量值为旋转速度规定值以上,前述第二区域定义为,前述电流计量值不足前述电流规定值,或者前述旋转速度计量值不足前述旋转速度规定值,前述区域判断机构判断前述旋转速度计量值和前述电流计量值属于前述第一区域和前述第二区域的哪个区域,前述运算机构基于该区域判断机构的判断的结果随着时间的经过对前述真空泵的故障的危险度进行运算。

全文数据:

权利要求:

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