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具有在多个光谱范围中具低反射率及高透射率的抗反射膜的硬化光学窗 

申请/专利权人:康宁公司

申请日:2022-11-03

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118265921A

主分类号:G01S7/481

分类号:G01S7/481;G02B1/115;G02B5/28

优先权:["20211118 US 63/280,869","20211215 US 63/289,828"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:一种用于感测系统的窗包括第一层状膜及第二层状膜。所述第一层状膜及所述第二层状膜各自包括较低折射指数材料及较高折射指数材料的交替层。所述第一层状膜包括抗刮层,使得当在所述第一层状膜上压痕时,所述窗展现大于或等于10GPa的最大纳米压痕硬度。所述第一层状膜及所述第二层状膜的所述层的材料及厚度被选择,使得所述窗在两个相异兴趣波长范围中展现相对高的透射率及低反射率。

主权项:1.一种用于感测系统的窗,所述窗包含:基板,包含第一表面及第二表面,所述第一表面及所述第二表面为所述基板的主表面;第一层状膜,安置在所述基板的所述第一表面上,所述第一层状膜包含一或多个较高折射指数材料及一或多个较低折射指数材料的交替层,其中所述第一层状膜的所述一或多个较高折射指数材料的折射指数高于所述第一层状膜的所述一或多个较低折射指数材料的折射指数;第二层状膜,安置在所述基板的所述第二表面上,所述第二层状膜包含一或多个较高折射指数材料及一或多个较低折射指数材料的交替层,其中所述第二层状膜的所述一或多个较高折射指数材料的折射指数高于所述第二层状膜的所述一或多个较低折射指数材料的折射指数;以及至少10GPa的最大硬度,所述最大硬度在所述第一层状膜处且通过Berkovich压头硬度测试测量,其中所述第一层状膜及所述第二层状膜的所述交替层的数量、厚度,及材料被组配,使得所述窗具有:对于以小于或等于15°的入射角入射在所述第一表面及所述第二表面上的光大于90%的在包围介于1400nm与1600nm之间的中央波长的50nm兴趣波长范围上计算的平均百分比透射率;对于以小于或等于15°的角度入射在所述第一表面及所述第二表面上的光小于0.5%的在所述50nm兴趣波长范围上计算的平均反射率;以及对于以小于或等于15°的入射角入射在所述第一表面及所述第二表面上的光大于80%的自400nm至700nm计算的平均百分比透射。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 康宁公司 具有在多个光谱范围中具低反射率及高透射率的抗反射膜的硬化光学窗

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