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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：提供了一种基底加热器和基底处理设备，所述基底加热器包括：支撑板，所述支撑板被配置为装载基底；绝缘层，所述绝缘层布置在支撑板下方；以及加热部分，所述加热部分布置在绝缘层下方并被配置为加热支撑板，其中绝缘层包括多个层，其中绝缘层的多个层中的至少两个层具有彼此不同的热膨胀系数。
主权项：1.一种基底加热器，包括：支撑板，被配置为装载基底；绝缘层，布置在所述支撑板下方；以及加热部分，布置在所述绝缘层下方并被配置为加热所述支撑板，其中，所述绝缘层包括多个层，并且所述绝缘层的所述多个层中的至少两个层具有彼此不同的热膨胀系数。
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权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 基底加热器及基底处理设备
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