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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2022-10-24
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118265950A
主分类号：G03F1/36
分类号：G03F1/36;G03F7/20;G06T17/20
优先权：["20211119 US 63/281,228"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：描述一种用于模拟模型的栅格依赖性校验。根据本公开的实施例，相较于先验栅格依赖性校验，有利地可以更快和更有效地执行栅格依赖性校验。设计布局的某些部分被选择和裁剪至所述模型所需的最小大小，并且被用于产生第二设计布局。所选部分相对于所述栅格而被旋转和或移位以形成一个或更多个经移动部分。所述第二设计布局包括所述一个或更多个所选部分和所述一个或更多个经移动部分，使得建模操作例如，模型施加需要仅仅运行单次而不是如在所述先验栅格依赖性校验中的多次。
主权项：1.一种非暂时性计算机可读介质，在所述非暂时性计算机可读介质上具有指令，所述指令在由一个或更多个处理器执行时使所述一个或更多个处理器执行方法，所述方法包括：提取第一图案布局的一个或更多个所选部分，所述第一图案布局叠置在栅格上；相对于所述栅格移动所述一个或更多个所选部分以形成一个或更多个经移动部分；产生包括所述一个或更多个所选部分和所述一个或更多个经移动部分的第二图案布局；以及提供所述第二图案布局至模拟模型，以确定所述一个或更多个所选部分和所述一个或更多个经移动部分的一个或更多个预测特性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 模拟模型稳定性确定方法
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